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第19卷第5期 应用激光 V01．19．No．5
1999年lo月 APPLlEDLAsER Oct幽r1999
激光加工中光参量的测试技术及设备
满春阳 陆耀东 史红民
(北京光电技术研究所北京100010)
提要 由于激光加工机本身所追求的质量要求促使激光参量测试技术要与之相适应．本文着重介绍与激光加
工相关的激光功率、能量聂光束质量等参量测量与监测技术及一些商品化的检测仪器．
关键词激光加工激光参量测试技术
Laser and
Parameter forLaser Machine
TastingTechnologyEquipment Processing
Man
Chunyang，LuYaodong，ShiHongmin
Instituteof 100010)
(Beijing Opto--electronictechnologyBeijing
Abstract oflaser matchthe oflaser
Thetestingtechnologyparametermost requests pro—
focuses0nthe timemonitor that
article measurementandreal
ceasingindustry．The technology
canbe touseforeithermanufactureor andrecommendssome avail—
easy workshop commercially
able
testingequipment．
wordslaser parameter，measurement
Key processing，laser technology
激光加工作为一种加工手段在机械、电子、 高激光输出的稳定性、提高光束质量是激光加
航空航天等领域占有越来越重要的位置，它正 工应用技术首要解决的问题，也是促进激光加
在不断的改造和替代传统的机械加工和材料处 工产业发展的一项重要措施。
理方法．使这些领域发生革命性的变化。
激光加工的常用激光器与主要参量
我国的激光加工技术和设备近年来在国家
的支持和市场经济的推动下取得了很大的进 目前我国市场销售的激光加工机械中常用
展，但作为激光加工机械核心的激光器的质量 的激光器主要有以下几种：
仍是制约我国激光加工的一个关键因素。 气体激光器：以大功率、中功率连续或脉冲
激光器的输出参量，如功率、能量的稳定 输出波长10．69m的CO：激光器为主。在加工
性。光束质量，器件的可靠性都影响着激光加工 中利用其热效应，用于切割、热处理、焊接等．
的成品率及效益，因此发展和完善检测技术，提 大、中功率的cO：激
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