溶剂热AZO薄膜乙二醇甲醚乙醇耔晶层.docVIP

透明导电薄膜论文：溶剂热AZO薄膜乙二醇甲醚乙醇耔晶层 【提示】本文仅提供摘要、关键词、篇名、目录等题录内容。为中国学术资源库知识代理，不涉版权。作者如有疑义，请联系版权单位或学校。 【摘要】近年来，掺铝ZnO（AZO）透明导电薄膜由于材料丰富、无毒、化学稳定性高、优异的光电性能等特点受到很大的关注，目前，制备AZO薄膜的方法很多，其中溶剂热法以其设备简单、成本低、低温等优点而成为制备ZnO薄膜的最佳方法。本文采用溶剂热法在普通玻璃基片上沉积生长AZO薄膜，以二水合乙酸锌为前驱体，六水合氯化铝为掺杂剂，乙醇胺为稳定剂，分别以乙二醇甲醚和乙醇作为溶剂，考查温度、沉积时间、前驱液浓度、掺杂原子比等对AZO薄膜表面形貌和光电性能的影响，优化最佳反应条件，进行性能对比；同时以乙醇作为溶剂考查在镀有ZnO耔晶层的玻璃基片上制备的Al掺杂ZnO薄膜的性能。所有样品通过X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、荧光光谱仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪等手段对其进行性能表征。结果表明，所有样品都具有纤锌矿结构，没有杂质相产生。在无耔晶层的玻璃基片上沉积形成的AZO薄膜，都沿着C轴择优生长，分别以乙二醇甲醚和乙醇作为溶剂制备的AZO薄膜，综合光电性能，乙醇比乙二醇甲醚得到的AZO电学性能更优，最小方块电阻为139.9K；在光学性能及薄膜结构方面，乙二醇甲醚作为溶剂比乙醇制备的掺Al氧化锌薄膜透过率高很多，平均透过率为92.41%，薄膜表面形貌致密紧凑，粗糙度小。而在有溶胶-凝胶制备的ZnO耔晶层的基片上结晶形成的AZO薄膜，温度的高低会出现不同方向生长的情况，综合考虑光电性能，在温度120℃，前驱液浓度0.1mol/L，沉积时间18h，掺铝比0.03时,薄膜性能最优，所得到的AZO薄膜最小方块电阻22.0MΩ,平均透过率达到90%以上。 【关键词】透明导电薄膜；溶剂热；AZO薄膜；乙二醇甲醚；乙醇；耔晶层； 【篇名】溶剂热法制备掺铝ZnO透明导电薄膜 【目录】溶剂热法制备掺铝ZnO透明导电薄膜 摘要 4-5 Abstract 5-6 第1章 绪论 10-18 1.1 课题背景 10-11 1.2 ZnO 的基本性质及晶体结构 11-13 1.2.1 ZnO 的基本性质 11-12 1.2.2 ZnO 的晶体结构 12-13 1.3 ZnO 的能带结构 13-14 1.4 ZnO 薄膜的制备方法 14-17 1.4.1 磁控溅射法 14 1.4.2 喷雾热解法 14-15 1.4.3 脉冲激光沉积法 15 1.4.4 化学气相沉积法 15 1.4.5 溶胶-凝胶法 15-16 1.4.6 电化学沉积法 16 1.4.7 溶剂热法 16-17 1.5 主要研究内容 17-18 第2章 实验方法 18-24 2.1 实验材料 18-19 2.1.1 实验药品 18 2.1.2 实验设备 18-19 2.2 薄膜的制备工艺 19 2.3 薄膜表征 19-24 2.3.1 紫外-可见光光谱(UV-Vis) 19-20 2.3.2 荧光光谱（PL） 20-21 2.3.3 X 射线衍射（XRD） 21-22 2.3.4 原子力显微镜（AFM） 22-24 第3章 不同溶剂制备的掺铝 ZnO 薄膜性能表征 24-58 3.1 乙二醇甲醚作为溶剂 24-34 3.1.1 沉积时间对 AZO 薄膜性能的影响 24-27 3.1.2 温度的变化对 AZO 薄膜的影响 27-30 3.1.3 前驱液浓度对 AZO 薄膜性能的影响 30-32 3.1.4 掺铝浓度对 AZO 薄膜性能的影响 32-34 3.2 乙醇作为溶剂 34-51 3.2.1 生长温度对 AZO 薄膜性能的影响 34-38 3.2.2 沉积时间对 AZO 薄膜的影响 38-42 3.2.3 溶胶浓度对 AZO 膜性能的影响 42-44 3.2.4 掺铝浓度比对 AZO 膜性能的影响 44-47 3.2.5 试验的方差分析 47-51 3.3 两种溶剂最优条件下的 AZO 薄膜性能对比 51-53 3.3.1 电学性能对比 51 3.3.2 光学性能对比 51-52 3.3.3 X 射线衍射对比 52-53 3.3.4 原子力显微镜图对比 53 3.4 相同条件下不同溶剂对 AZO 薄膜性能影响 53-56 3.4.1 电学性能 53 3.4.2 光学性能对比 53-55 3.4.3 X 射线衍射图谱对比 55 3.4.4 原子力显微镜图对比 55-56 3.5 本章小结 56-58 第4章 溶剂热法在掺铝 ZnO 涂层上制备 AZO 薄膜及其性能的研究 58-75 4.1 温度对 AZO 透明导电薄膜性能的影响 58-64 4.1.1 X 射线衍射分析 58-59 4.1.2 薄膜厚度