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在等离子体鞘层中的带电尘埃1 刘金远王德真 ，、连理-1_大学物理系三束材料改性国家重点实验室，、连1 6024 摘要 I文研究了等离子体鞘层中儿种因数对尘竣的带皂和分布P勺融墨，即竺莲的数帝度 趵相对)：小对尘境带电的影啊；由电极或壁热电子或二次电子敖射的柬电子对尘埃 可电和分布的影响以及离子对尘埃克黾的损失对尘镁带黾蔓骨布的影响。 1．引言 _三等离子体的材鹤处理中、尘埃l；可避免的由气相反应生成鼓从器擘和材料表面产生 二=带黾，磊变了船工等离子体的性质，叉会造成鞍子的污染。另外加工材料的性质完全 习等离子佐和树辑表面接触的等离子体鞘层的性质祆定，田此研置尘埃受等离子体鞘层甲 跗1亍为以及虫埃对孳离子体鞘层的影响是十分重要的。尘埃征鞘启]的茸毛机制的研究是 蜘题!j关毽，现☆的文献扯71对尘竣带电采用的都是探针模型，j皇专考虑萁他尘装存在对车 等译皂的影啊。另外．鞘层中等离子体的性质镘不同1一内部等离子怯蚋_生质，鞘层存在电 j习 兰埃在场的作焉i要运动，电子和离÷的密度差很大。任近璧i rL乎是离子鞘。因 此 兰壤在鞘层也的带宅很复杂。陈此z步、，我们还考虑r存而偏玉的崎况下的黾极或壁 班二放电子和热电子发射的影响。这些电子扶电扳出射后在鞘层场趵珊运下通过鞘层，既 盯犁层结掏产生影响，也对尘埃的运动和带电产生影响。另岁L．，：麓的尘埃粒子存在于鞘 暑。i二二jt箬毫_7和离子带电会显薯的菇，，毒手田吐我?}j担1，1}7罩干禽工对挛蝗充电 损天l+尘：莩前鬯的影啊． 二．鞘层模型 我们考虑一维稳悉的等离子体鞘层。等离子体的成分是热电子冷离子、带电尘埃和 田壁‘电极或材料表面)发射的电子(二次电子或热电子j，在鹅翅号子、离子、尘埃和柬 黾子的密度Ⅲ，2小n^o和％o滤足电中性条件 e(n，。一H。。一n^o)+gdoMdo=0 (1) 式口一P是电子的电荷，qd。是尘埃在鞘边带的电荷。 黾子被认为是与黾场平衡的麦克斯韦电子，其密度由玻耳兹曼天系给定 H。=m∞exp@≯iv,) (2) 式甲口是鞘层势．r(eV)是电子的温度(以电子伏特为单位)。 离子敏认为是冷流体，其运动由连续性方程和能量守恒方程决暑 a(n：v。)／毋=S。 (3) v，函’，／出=一(elm，)印lOx (4) Ⅲ．和V是离子的质 式甲s=一册‘#7d月，v．(1—2eqd／口Ⅲ，V?)是离子对尘埃充电的损失坝 量和建爱， ^1#缝射出的电j’庄鞘层场的加迪n戍为京流电子怛档认乃是；4城体 ，?一’6=#lDoVM (5) ?。吒，’2=”1，。晶i：一eO (6) ，{．T乍得到国家自然科学毕台年fl大连堙工大学青年堆盘的锈助 一1j一 对于微米及亚微米大小的尘埃粒子在其数密度不是很小时采用冷流体模型． 尘埃的运 动遵从连续性方程和动量守恒方程 ndVd=?ldOVdO (7) mdVd加d／良=-qd却／缸+F (8) 式中m。，”d，％分别是尘埃的质量，速度和电荷．F可能包括重力，离子的拖动力(ion drag)和中性分子的碰撞力。尘埃的电荷由电子、离子和束电子的充电平衡方程 ，．+L+1^=0决定，其中电子、离子和束电子的充电电流为 t(九≤0)=—