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第 32 卷 第 1 期 低 温 物 理 学 报 Vol . 32 ,No . 1
2 0 1 0 年 2 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L OW T EM P ERA TU R E P H YSICS February 2 0 1 0
c 轴取向 SiC 衬底 MgB 超导厚膜的制备及性质
2
孟 胜 张从尧 冯庆荣
北京大学物理学院 ,北京 10087 1
( )
【摘要】 通过混合物理化学气相沉积法 Hybrid Physicalchemical Vapor Depo sition ,简称 H PCVD ,我们在 SiC 衬
μ
底上制备出了 c 取向 8 m 厚的 MgB2 超导厚膜. 电性质测量表明其起始超导转变温度是 4 1. 4 K ,转变宽度为 0 .
6 2
5 K ,剩余电阻比率 RRR~7 . 磁性质测量表明 5 K 和零场下样品的临界电流密度达到了 1. 7 ×10 A/ cm .
关键词 : 混合物理化学气相沉积法 ,MgB2 超导厚膜 ,R~ T 曲线 ,M ~ T 曲线 ,M ~ H 曲线 ,SEM 图
PACC : 7460 ,7470 ,7475
THE STUDY OF SIC SUBSTRATE MgB
2
THICK FILMS GREW ALONG c AXIS
M EN G Shen g Z HAN G Congrao F EN G Qingrong
S chool of P hy s ics , Pek i ng Uni vers ity B eij i ng 10087 1
【Abstract 】 We have fabricat ed MgB2 t hick film s on SiC sub st rat e grew along c axi s by u sing hybrid p hy sicalchemi
( ) μ (
cal vapor depo sition H PCVD t echnique . The t hickness wa s 8 m . Elect ric mea surement showed t hat t he Tc on
set) wa s 4 1. 4 K , and t he t ran sition widt h was 0
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