电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性.pdfVIP

710．15 998 第二届全国加速器技术学木交流会论文集 电子回旋共振(EOR)等离子体源的特性 孙官清，刘仲阳，张大忠，陈剑宣，钟光武’ 四川联合大学原子核科学技术研究所，成都610064 辐射物理与技术国家教委开放实验室 摘要：本文简要描述了一台频率为2．45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试。 表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密 切关系．当磁场达到共振条件87．5mT，等离子体很易产生，但等离子红密度的最大值卸出现在 93mT处．ECR源在真空度0，1一lPa问均能运行．由石英，^1，Ot陶瓷和BN构成的微波 输八窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200—700W阃，反射系数仅为1％，等离子体密度迭5．8 x10“c矿j，电子温度为3—12eV．该源的寿命超过300小时． 关键词：电子回旋共振等离子体源特性 1．{I言 电子回旋共振(EcR)等离子体源在低温等离子体增强化学气相沉积、离子注入和金刚石薄膜制备等离 子体和离子柬技术的许多领域有着广泛的应用。ECR源具有无热阴极、哇．离度高、可忽略放电室壁的散 射，适合腐蚀性气体，能在低真空度下工作，性能稳定和寿命长等特点。 为了开展等离子体化学气相沉积(cVD)等工艺的研究，我们研制了一台ECR离子源．本文简要描述 ECR离子源的主要特性。等离子体密度和电子温度与磁场、微波功率、真空度等运行参数的关系． 2．E豫源的结构 lOcm的不锈钢圆筒。两个磁场线圈套在放电室外，分别单独供电产生120niT左右的轴向磁场，改变激磁 经微波输入窗进八等离子体放电室，入射和反射功率采用方向耦合器监测，并装有带假负载三环器，以防 止反射功率对磁控管的损害，在ECR源的下端是一个容积很大的真空室，其四周开有几个孔道供输气、 放置样品、测试等离子体或离子束和观察之用。当ECR源工作在等离子体束状态，放电室引出口采用 5cm直径的限制环，若工作在离子束状态时，则采用带孔的栅网引出系统。 3．￡强源的特性 轴线上下移动。实验表明，ECR源的等离子密度、电子温度和离子束流等三二要参数与真空度(气流量)、微 波功率、磁场和微波输入窗均有密切关系。 3．1等离子体密度、电子温度与磁场的关系 磁场对ECR源等离子体密度、电子温度起着十分重要的作用。两个线圈沿轴共厨产生的磁 ·核[业两南物理研究院 ● !：：!：!!!：!! 墨三璺全里塑垩墨茎查兰查奎鎏叁堡翌叁 t．tt置主蓐l三墙环麓摹l口-百蔫El {*_●*‘^’“’t4tt他 ‘重导f 5．t渡■^曩‘tt ，连、f 1．辱鼻手王 I{l出孽 10靶：It 沿轴线的分布。 66×10-I 我们将微波功率固定在500Ⅵ下线圈电流为70A，输入气体后真空度为2 Pa,输入窗材 料为石英、AI，01陶瓷和BN的实验条件下，腰察等离子体窜度、电子温度与磁场的关系，发现当上 时，放电则完全熄灭。实验表明，当输入的微波频率与电子在磁场内的回转频率相等，即位于微波输入窗 附近的磁场达到87．5 mT(上线圈电流58A)ECR共振条件时』电子获得能量，气体分子电离，形成等离 子体。而在磁场93rot处(电流60A)，由于入射微波与等离子_f本之间有更好的阻抗匹配，等离子体密度 10ll 达到最大值4．8x cm-3，磁砀过强严重破坏了共振条件导致离子源停止工作。 可见．输入窗附近的磁场分布对等离子的形成和ECR源的工作状态起着关键作用。当上线圈电流 固定，改变下线圈电流(即改变引出口附近的磁场)对等离子体柬的密度有一定影响，但变化比较平缓，如 图3所示。 t ， t ‘· 《：≥L、、 5