电子信息产业的发展和微电子机械系统.pdfVIP

中国电子学会第十届电手元件学术阜合诗文集98革9月 电子信息产业的发展与微电子机械系统 七一五厂第二研究所李海泉 [摘 要] 本文从电子信息产业的发展和我国电子专用设备行业的现状及建立民族 电子信息产业的需要出发，简明介绍了微电子机械系统的制作和装配技术概况并肘我 国电子专用设备行业提出期望 [美键词] 电子信息产业徽电子机械系统LIGA技术表面括化键合技术sAB ·二十一世纪将是电子信息时代，一个以电子信息技术为中心的新技术革命正方兴来艾．日 本、美国、德国等发达国家的电子信息产业已跃屠钢铁、汽车，石油等传统产业之上，成为最大 的产业部II。在我国九五年十月党的十四届五中全会上提出了“加快国民经济信息化进程”的 战略任务；九七年四月中旬召开的全国信息化工作会议上，步署了发展国民经济信息化的具体 工作；今年三月份，朱餐基总理访问法国期间会见企业界巨头时指出：“我国将大力发展电子信 息产业”。 电子信息产业是国民经济信息化的支柱产业，对我国加快国民经济信息化建设起着决定 性的作用，而电子专用设备所具有的先进的制造工艺控术，又是推动电子信息产业高度发展的 基础和决定因素．但目前我国电子信息产业所能提供的技术和装备能力与信息化建设的需要 还相差太远．我国的电子工艺设备多为传统式的机械设备，长期以来未能进行有效的技术改 造．这样的设备耗能高，可靠性差，效率低，95％处于五、六十年代水平，能达到世界八十年代水 平的仅占l／4，而自动化程度高，采用微电子技术，结构先进，性能好的设备屈指可数．因此我国 每年不得不拿出数百亿美元从国外进口机电设备(特别是电子元器件专用设备)．但一味依赖 进口，知其然而不知其所以然，到头来只能进入引进——落后——再引进的恶性循环。九七年 亚洲金融危机，将使世界经济增长回落四个百分点，西方国家正重组金融机椅，紧缩银根，对外 贸易和投资(特别是对亚洲)将受到影响，不会有大动作．因此只有我们民族自己对电子信息领 域内的核心科学技术有了掌握、运用和创新的能力，才能实现真正意义上的电子信息工业的民 族产业化． 电子信息产业是高科技产业．它所需要的微、精、多功能、大容能、高可靠的电子元器件．特 别是微、纳米级的元件的出现，不但使传统意义上的电子机械加工工艺无能为力，而且使其组 装技术也由自动插装(如双列直插式封装DIP)进而发展到表面贴装SMT和微组装MPT．因此 集光、电、化学、微处理机为一体的独特的微电子机械系统的制作和装配工艺，成为了决定性的 ·125· 感器、微执行器、信号处理、智能控制为一体的微电子机械系统，是发达国家投人大量资金研究 微电子机械系统的实现需要微机械加工技术MMPT和微电子机械系统装配技术MEPT。现简 述如下： ． 微电子机械加工技术MMPT是一种集光，电，化学相互作用为依托的特殊工艺技术，它犀 制造固态传感器，徽执行器以及微电子机械系统的关键工艺。馓电子机械加工技术是由体微机 械加工技术、表面微机械加工技术、微模制成型技术和键合技术组成的。所谓体微机械加工技 术MIjMP是一种通过腐蚀技术将硅基片有选择地去除一部分，蚀刻形成微机械结构的工艺． 它是由八十年代同集成电路工艺延伸扩展而来的。如对硅片进行化学腐蚀达到获得微机械结 构的目的。这里叉分备向同性和各同异性腐蚀。各向同性通常用氧氟酸——硝酸(HF— HN03)溶液使硅的所有晶向以相等速率进行蚀刻，但它只是一种平面蚀刻技术，不适于制作 复杂的立体微机械结构。各向异性腐蚀垴常是用氢氧化钾(KOH)溶液，氢氧化四甲胺 (TMAN)溶藏或EPW溶液使硅在不同的晶面，以不同的速度进行蚀刻，但用控制腐蚀时问来 控制腐蚀深度的误莲很大，必须应用“化学自停止腐蚀技术”才能精确控制其腐蚀深度，因为这 种技术能使腐蚀自动停止在特定层．目前已发展到等离子干法探腐蚀和干，湿法结合的蚀刻工 艺。所谓表面微机械加工技术SMMP是一种通过对硅基底薄膜进行蚀刻得到完全建立在硅基 底层表面上的微机械结构的工艺方法。表面微机械加工技术首先需要在硅基底层上沉积～屡 牺牲层(约j～孔蠢)并蚀刻成所需要的形状，以作为后续工艺的临时支撵．为丁防止后期结构 层漂移通常需要带育孔道．牺牲层可以磷硅玻璃作为材料；然后再沉积一层结构材料如多晶硅 薄膜并蚀刻成型，最后浸入湿腐蚀剂使牺牲层全部腐蚀掉，留下的就是所要求的空腔结构，即