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多光谱ZnS的研制 余怀之刘建平郑岳华亓宇贾景彬 (北京有色金属研究总院，北京，100088) 摘要ZnS是重要的长波缸外窗口材料，本文描 力加热，内外表面由于存在巨大温差而出现的膨胀一 述了用CVD方法制备ZnS的厚度均匀性，红外度可压缩应力，窗口或头罩能经受热冲击而不破损；(3) 见光透过率，特别是多光谱ZnS的光学性能，并对 能抵抗雨水、灰尘的浸蚀；到目前，还没有一种红外材 实验结果进行7讨论。 料能完全满足上述三个方面的要求。相比较而言，在 关键词窗口材料红外CVD工艺多光谱 8～12pm的长波段，CVDZnS是较为理想的。因此 1引言 材料。 红外光学材料在军事和民用上都有着广泛的应 从表1中看出，能作为多光谱材料使用的有m— 用。是重要的红外材料之一。 ZnS、ZnSe和金刚石。金刚石距窗口实用还有很长的 在1～23pm豹红外波段，存在着2个大气吸收距离，而CVDZnSe的力学性能较差，因此，能作多光 很小的所谓的大气窗口：3～5Frn和8～12pm。就目 谱窗口使用的就只有ZnS。 前所知，能工作在3～5Fm和8～12pm两个大气窗口本文描述了多光谱ZnS的制备及所得的实验结 的光学材料种类很多，有卤素化合物、氧化物陶瓷、元 果，并对结果作了简单的讨论。 素半导体和化合物半导体等。表1给出了一些红外光 2实验 学材料的透射波段。锗由于透射波段宽、色散小、机械 强度大、化学稳定性好、易于加工和易得到大尺寸，因 化学气相沉积装置为图l所示，Ar气通人熔化 此，目前是所有成像系统透镜和棱镜的主要材料。因 的高纯Zn坩埚中，携带Zn原子蒸汽进人沉积室，同 此，这众多的红外光学材料都是用于窗口和头罩。由 时高纯H2S气经过管道也进人到沉积室，沉积室温 此可见，满足窗口和头罩的使用要求是红外光学材 度控制在600～850℃，在这个温度下zn蒸汽则和 料研制的主要内容． H。S进行反应，生成ZnS沉积在石墨沉积室内壁上， 表I各种红外光学材料的透射波段“](波长单位： 反应生成物HⅫ和携带气体Ar及朱能参加反应的 U-m) ． HtS气被排出炉外。在排出的废气中含朽有毒气体 Table1 Transmittanceofvariousinfrared range H。S。因此，排出的气体要经过一个HzS吸收装置，再 材料 透射战段 材料 进舯波段 材抖 透射波段 排人大气，以防对大气造成污染。 石美 Y203 I=抽空 SiaN●0．3～4．5 0．35～12 MgO S|c 04～S MgYt 0 6～12 矗 铝醢锅 0．4～55 LiF 05～20 波动 mN0，2～5．5 G矗F2 兜晶； 0．2～6SeSbGe 18～58 As 兰宝； 0．14—6 2Sa 0 25—3 Zf0204～6 GaA3 仝刚石 5～100 *rn-ZnS是多光谱ZnS ㈨S ZnS ZnS是标准的CVD 用于高速飞行器上的窗口或头罩，应该符合三个 方面的严格要求：(1)要有高的红外透过