第五章、真空系统设计-2.pptVIP

第五章、真空系统设计 主要内容： 1、真空系统的组成 2、真空系统元件及连接 3、真空系统中常用材料 4、真空卫生 5、真空系统的设计计算 1、真空系统的组成 1.1真空技术系统图用图形符号： 1.2 真空系统的构成 真空系统是由真空容器、获得真空、测量真空、控制真空等组件组成。 较完整的真空系统： 真空室 所需的真空泵或真空机组： 真空测量装置 连接导管 捕集器 真空阀门 其他真空元件及电气控制系统 1.3 典型的真空系统 1.4 真空系统的基本操作规测 启动油封机械泵时，首先保证转子方向正确、油位符合要求； 油封机械泵停止时，防止压差返油； 不要让机械泵工作到极限压强； 不要让油封机械泵在大气压强下或较高压强下长时间工作； 在扩散泵通大气之前，应将泵油冷却到安全温度，防止高温下油氧化； 高真空泵在工作之前，先要开启水冷； 使用电离计时，应在真空室压强低于1.33×10-1Pa，才接通电离计； 真空系统停止工作时，应将系统内的各元件（包括真空室）都保持真空状态下封存，但机械泵要通大气； 2、真空系统元件及连接 真空元件: 真空室、真空泵、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器（阱）、除尘器、真空继电器 真空阀门 密封连接 2.1 真空阀门 典型的真空阀工作方式： 典型的真空阀工作方式： 2.2 密封 密封材料 真空阀门的胶垫密封结构 快速接头组件 橡胶密封材料的基本要求 光华表面；无划伤；无裂纹；具有低的出气率、挥发率和透气率； 良好的耐热性、耐油性、抗老化能力、耐压缩形变（35%) 适宜的压力松弛系数（0.65） 真空阀门的金属垫密封 各式金属嵌入密封 优点 放气远小于橡胶； 气体渗透低 耐高温 缺点 金属密封圈弹性差，需要很大的密封力才能保证可靠的真空密封 重复使用性很差，有些金属密封圈只能使用一次 法兰密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高，很小的伤痕都能破坏密封，大尺寸法兰加工困难。 密封圈和法兰材料的线膨胀系数相差较大，加热不均匀或密封结构设计得不正确，会引起局部变形而造成漏气 2.3 真空连接及密封 真空法兰（Vacuum Flanges)连接 动密封连接 引入接口（Fittings ） VCR、VCO、 NPT、快速接头、底板密封式（Baseplate）接头、测试用圆端口及软管接头 观察窗（Viewports） 穿通密封件 (Feedthroughs) 穿通密封件是一种可以穿过真空腔壁来传输各种电功率、电信号、运动、运转、流体及光束等的密封器件。 电穿通密封件:电穿通密封件，包括各种不同规格的接口、耐压及载流指标。电穿通密封件主要分为以下四种：功率式，同轴信号式，热电偶式，陶瓷隔离式。 流体穿通密封件:传送液体或气体到真空腔室内的设备，目的通常是为了散热冷却，或提供动力给气动或液压驱动的装置。 传动式穿通密封件: 传动式穿通密封件是一种精密的操作装置，可用来移动或定位真空室内的物体。 光学式穿通密封件(Viewports)是安装在真空腔壁上的特定的玻璃窗口，其用途包括：可让操作员观察真空室内的操作过程；透过特定波长的光束进行物理或化学反应；测量在工艺中放射出来的光波或其他电磁波；或监控某特定波长的光学效应(椭圆偏光测量术)等。 磁流体 转轴 利用弯曲的伸缩管转动传送 线性传动 光学材料可选Kodial玻璃、石英、蓝宝石、特殊玻璃材料(例如硒化锌，氟化镁等)及有光学镀层的7980高纯熔融石英（专用于传输激光）。 3、真空卫生 4.1材料表面常见的污染形式 4.2 材料表面净化 4.3表面净化处理的基本方法 4.4 放电清洗 4.5气体冲洗 4.6 非金属材料的清洗 4.7清洗的基本程序 4.8清洗注意事项 4.9清洁零件的存放 3.1材料表面常见的污染形式 环境空气中的尘埃和抛光残渣及其它有机物等； 水基类:操作者的手汗、吹气时的水汽、唾液等； 表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物； 酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等； 油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等。 3.2 材料表面净化 表面净化：在真空工艺进行前，先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程 净化的目的：为了改进真空系统中所有器壁和其他组件表面在各工作条件下的工作稳定性 清洁表面的分类：原子级清洁表面；工艺技术上的清洁表面。 3.3表面净化处理的基本方法 溶剂清洗（最普遍） 软化水或含水系统；无水有机溶剂；石油分馏物；乳状液或溶剂蒸气；金属清洗剂 超生清洗（清除较强粘附污染） 蒸气脱脂清洗（简单、大批量） 清除基片表面油脂膜和类油脂膜等氢化物 电解侵蚀清洗 缩短侵蚀时