铁、铜颗粒膜输运性质和温度关系的研究.pdfVIP

铁、铜颗粒膜输运性质与温度关系研究 汪壮兵葛洪良沙健焦正宽 杭州市浙江大学物理系低温组 邮编310027 摘要 本文介绍了：辟}硭控溅射方法制备非晶铁铜颗粒膜，井首次在非晶纳米颗粒膜中发aT较太的负阻温特 性。而且随着实验条件的变化有着负阻温特性向正阻瀣特性转变过程，结合非晶卷曲zi删m理沦给出 了一定的定性解释． 一、实验方法 实验采用rf磁控溅射方法将铁、铜溅射沉积到玻璃衬底上得到Fc，cu。一滞粒膜．溅射靶 x20mm．铁．铜纯度分别为 是由中8l的圆铁片上镶嵌若干片铜片制成．铜片尺寸为2 x 9999％和99．999％．溅射前先预溅射lo分钟，得到稳定的溅射状态．溅射时，在510‘帕 背景真空度下，通人高纯Ar气，纯度为99999％，并使Ar气压稳定在0．2帕，溅射功率稳定 在30W，溅射速率约为12矗／S．膜的沉积厚度通过溅射时问的长短来控制，分别称为“ 比通过改变靶上铜片的镶嵌敬量来控制，井通过能谱分析计算得出铁铜原子比，表示为“ FexCu“”．阻温特性的测量采用四引线方法，测量电流为30uA． 二、实验结果与讨论 和电阻，Tt、Rt分别是最低温时温度和电阻，下面a定义相同)．随着溅射时间的加长，电 阻越来越小，阻温变化也逐渐减小．5min的膜较厚，3600埃，阻温特性发生转变，温度系 数由负变正，阻温变化非常显著．affil36×101k-。，这比一般的10。k。高出一个数量级”’． 从图中还可看出电阻、温度基本呈线性关系变化． x10…K减小为 射时间相同的情况下，随着铜的含量增力Il，温度系数由Feo“cIloM的一2．67 x Feo“C啪％的一1．28 从图2还可看出，随着铜含量增加，+电阻太幅度下降． 对我们的膜作了x光衍射分析，发现膜的结构是非晶态．下面根批非品态的一些理论 费米能级EF所对应的波矢．口(q)为结构因子，反映原子系综散射入射波的能力，可以直接 由X射线衍射实验测出，其第一峰值相应的位置常用q。表示．随着温度，}高，结构因子的第 一主峰减弱和宽化，当2KF=qp(或相当)时。将导致负阻温特性”1．艇沦计算表明”3“，在 高，低温区lp}与温度分别成线性，二次方荧系变化．而正．负取决于2Kv相对qp的大小． 铜的含量对阻温特性的影响可以认为主要是由于铁铜)d电子数4：M．在铜含量较少”寸 48 不同对膜厚也有一定影响．根据我们的测量，铁靶上镶嵌八片铜比镶嵌四片铜时溅射速率 要大I埃／秒．但是这个差别相对溅射速率为12埃，秒来说，在溅射时间相同时，膜厚的影 响是次要的，铜的含量影响是主要的．膜厚对阻温特性的影响可能是随着膜厚的增加，膜 的致密度得到提高，原子致密度n=N，v变大(N、v分别是原子总数和体积)．由于Kr n“。，故对同样的F‰HQlⅫ样品，虽然铁铜含量比例未变，但2KF值在随着膜厚而增大， 这就有可能使最初的2KF“qp逐渐偏离qp，由最初较大的负温度系数逐渐变小，直至正温 度系数． 鼬 栅 珊 种 证 盆^_§-．1 。 ． O 日 m tm ∞ Ⅻ ■_9_矗_●∞ 1口，日“nn啪 图l：Feo．sACuoj6的R-T与膜厚关系 圉2：3minFexCul．x膜SR-T曲线 值得一提的是：在我们的测量温度范围内，未发现铁铜颗粒膜中存在近藤效应