高精度激光功率能量基准研究.pdfVIP

1999 1098年第12卷第2期 测 试 技 术 擘 攫 voll2No,2 l釜蔓垒垫套型望些錾：：!蹩：些：塞些些!墼：墅鬯5些：：：：：===些翌基!垒2 ， 高精度激光功率能量基准的研究 。丁眵7b 马冲郭正强 (中国计量科q．-研究院，北京，1000t3) 摘要奉文介绍7我国光学计量中最新建立的高精度激光功率基堆和激光能量基准．雄准是我圆 激光功率．能量霸{量最重要的量值溯潭和依据：有着重要的科学和妊济意X．在建立高籀糍教光葫率 基准时采用了光陷阱型硅光电二握管绝时光谱响应自基准新技术，西强新基准比传统的闻1I能鞔准的 绝对辐射计基准嚣募有更高的是敏度、饯|生，更快的响应，量值准确。使用方便等优点；薪建辜的激 光能量基准，较之原有能量基准县有光电等教性好，灵敏度高，可承受较高的脉冲激光能量密度，测 量过程自动化等优点。 荚键i甸： 离精度基准；光陷阱型硅光电二掇管自枝准技术；绝熟型电投准激光能量计；激光功率； 激光能量； 1高精度激光功率基准 要进行激光功率大小的测量必须有激光功率计量仪器．激光功辜计量仪器的量值 墨由激光功率基准器来标定。故高精度激光功率基准是激光功率嚣值的溯源和依据。 其量值准确与否直接影响到激光功率量值的传递和激光技术的发展。因此在建立我国 新的高精度激光功率基准时采用了当前世界上先进的光陷阱型硅光电=极管在一定波 长下绝对光谱灵敏度自校准新技术。 1．1光陷肼型硅光电：极管自棱准技术的基本原理 硅光电二极管是一种常用的光辐射探测器．它接受激光辐射后产生相应的光￡黾流， 其光谱响应灵敏度R(^)可由下式确定： 。． R(五)=孚!Q(A)(1一“A)) 加 上式中e为电子电荷，^为入射激光波长，h为蒈朗克常数 c为光速，p(^)为器件表明对入射激光的反射比。Q(^) 为器件的鼍子效率。要测量P(^)这个量是相当麻烦的， 因此采用如匿l所示的由三个硅光电=极管组成的光陷阱 (QED．200)器件时，由于入射激光_在内部经五次吸收和反 射后，最后由此器件反射出来的激光不到原入射激光的十 万分之几，小到可以忽略的程度．因此这种器件叫做光陷 田IO．ED--200结构示意篱 阱型硅光电二极管器件，对于该器件(1)式可化筒为： (2) R(A)=；生Q(A) 对于这种器件，当加反}句偏压，锰其量予葱率Q(^)酉分之百时，其光谮酾应灵敏度R(^) 的值可简化为： ＆∽=娑 ∞ rH。 由(2)式和(3)式可得戳 +鲋)=船(4) ：璺兰兰兰塑! 妻塑堕塑垄堕蔓丝兰差垄塑研究(马冲等)旦! Q(1j琴无量纲的相对值，对于一定的入射激光波长，可以方便地测量Q(^)值。其方法 墨：将…定波长的入射激光功率稳定住，并使其垂直入射到QED．20器谇上，测量出器 件存零偏j玉下的光电流I。，后．加上反向偏压，测出OED．200在饱和情况下的光电流输出 lv，则： 鲫，=嚣； ④ 知道TQ(L)值便可由式(2)计算出零偏压下该器件的绝对光谱响应灵敏度。因聪丸) 测出Ro(O 6328)。以它为基准量值．可以标定其它探测器在o63281am波长下的灵敏度， 或用来标定无光谱选择性的探测器，使它为工作标准器，