微细电加工应用技术研究.pdfVIP

电加工与模具)2009年增刊 设计 ·研 究 微细 电加工应用技术研究 李 勇 (清华大学制造工程研究所 ，北京 100084) 摘要：微细电加工要达到工业应用的 目的，需兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微 细孔 、微细三维结构的加工为 目标，进行了微细孔 电火花加工、三维微细结构 电火花伺服扫描加工 及微细电化学加工技术的研究开发。设计 出微细电极 的损耗补偿进给和导向机构，开发 出三维微 细结构的电火花伺服扫描加工工艺，研 究了采用阵列微细 电板的微 细 电化 学加工方法。微细孔 电 火花加工可连续加工直径小至 100_／tm 的孔。伺服扫描 电火花加工可便捷地在小于 1mm2区域 内 加工出三维微细结构。提 出的微细电化学加工技术路线拟将微细电解加工应用于阵列微细孔和三 维微 细结构的加 工 。 关键词：微细电火花加工；微细电化学加工；电极损耗；伺服进给；伺服扫描 中图分类号：TG66