微细阵列孔的电解加工精度研究.pdfVIP

设计 ·研 究 电加工与模具)2009年第2期 微细阵列孔的电解加工精度研究 曾伟梁 ．一，王振龙 ，刘 颖 ，宫彦萍 (1．哈尔滨师范大学信息科学系，黑龙江哈尔滨 150080； 2．哈尔滨工业大学特种加工与机电控制研究所 ，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要 ：从 电解加工的特点出发 ，对影响微细阵列孔加工精度的因素进行 了分析。电解加工过 程中，工具阴极和工件阳极之间存在加工间隙是导致误差的根源。微细阵列孔的电解加工误差可 分为复制误差和重复误差，电场强度的分布状态和杂散腐蚀是造成复制误差的最重要因素，而气泡 在加工区域的堆积导致 了重复误差的产生。通过理论和实验分析 ，为实验加工提供 了提 高加工精 度 的措施和办法 。 关键词 ：微细阵列孔；电解加工；复制精度；重复精度 中图分类号：TG662 ResearchonEM M PrecisionOfM icro—holeArray