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GENERAL WI 普通作业指导书
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2.0 适用范围： 本操作步骤适用于天合科技centrotherm 扩散炉的维护保养。
3.1开机前检查
3.2 开机步骤
图1-1
图1-2
图1-3
3.2.3打开CMI电脑下方电脑的开关，开电脑 打开CMI应用软件（1-4）
图1-4
3.2.4打开CESAR
图1-5
PAGE：页 1 OF 0
3.2.5打开N2和O2阀门，并打开压空阀门(图1-6)
3.2.6开源瓶的进气和出气阀门
开机前确认水、电、气、压空、热排、酸排等动力连接正常。
3.2.1打开主电源开关（图1-1）
3.2.2在主开关区对应说明打开各对应开关（图1-2）（图1-3）
图1-7
图1-6
①在操作屏中进入各个TUBE的菜单
②点击下方manual 选项
③进入manual后进入 T_PADDLE项目
④在T_PADDLE项目中点SETPOINT
⑤在SET POINT 中输入600度
3.2.7确认加热开关已打开，调整炉管温度到600度（图1-8）
图1-8
图1-9
CESAR为四个炉管的控制器，在打开CESAR开关时一个接一个至少相隔10秒钟打开CESAR的硬件开关 .（图1-5）
按照先出后进的循序打开源瓶的进气和出气口（图1-7） 辨别方式 : ①进气口深入瓶底 出气口很短. ②进气口的管子要比初期管细.
3.2.8关闭炉管门
关闭炉门时必须在600度的时候做这个动作 否则可能对炉门和石英管造成伤害（图1-9）（图1-10）
图1-10
3.2.9检查冷凝瓶接口部位是否密封（图1-11）
在炉管后段,缓慢的闭合炉管尾与冷凝瓶接触口的两个夹具 . 确保连接密封
3.2.10 将炉管温度设定到810度（图1-12）
1.0 目的： 通过正确的开机步骤，会减少机台的故障，延长机台的使用寿命
3.0 CT扩散机台开关机步骤：
1、打开主电源
所有开关的对应说明
所有开关的位置
CMI电脑开关
CESAR开关
N2\O2阀门
细管为进气管
粗管为出气管
设定温度为600
该处打开压缩空气阀门
将炉门手动关闭
固定架接口
底板
设定温度为810
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