非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中应用.pdfVIP

维普资讯 第 l期 学 学 报 V0_【l5，No l l999年 1月 JoURNAL oF INORGANIC CHEM ISTRY Jan．．19g9 非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积 中的应用 0 、7 ／ 』 张剑云丁士进 王鹏飞王季陶’ (复旦大学电子_￡程系CVD研究室，上海 200433) 关键词 ： 堡墨基笠墨 ．． 墨!里!曼 非平衡定态 塑 分类号 0642 O612．4 别各 0 前 言 汔幸只 最近几年低压金剐石制备研究中，出现了—类 以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐 渐被人们所重视 ：少量氮原子的存在 (甚至是 ppm级)可 以显著提高金刚石薄膜的淀积速率 ， 改善薄膜质量 。 本文报道根据非平衡热力学耦合理论 ，首次计算得到了含氮体系低压金刚石长生的非 平衡定态相 图，与近几年含氮体系金刚石生长实验点相 比较符合 良好 ，说明该理论相 图可以应 用于碳氢氮体系金刚石制备实验分析，可以为今后的实验研究提供条件选择的定量化依据 。 1 非平衡定态相图计算方法 在前文中描述了非平衡热力学耦合理论要点 … ，当体系中含有氮原子时，氮原子和氢 原子为激活粒子。总反应式可以用如下方程式来表示 C(gra)+ [(1一Z)H ·’+扑 ·’]斗c(dia)_L1／2xE(1--2)t-I+^Nz] (1) 为耦合反应常数。^为氮与氨加氢摩尔之 比，即N／(N+I-t)。t-I·和‘N ·分‘别是超平衡 氢原子和超平衡氮原子，是体系中的激活粒子。将方程式(1)移项得方程式 (2)： C(gra)+ [(1一 )(H ·。一1／2Hz)+ (N ·一1／2N)]—c(dia) r2) 只要耦合反应常数 不是太小，可 以使反应式 (2)的 G0，使反应向右进行 方程式(2) 的左方fC(gra)+z[(1一^)H ·一i／2Hz)一Z(N ·一l／2Ne)]}称为碳氢氮体系的激活石墨 项 。激活石墨项体现 了反应的耦合作用，由于激活粒子的存在 ，使得石墨的能量状态被升高成 为亚稳相，而金刚石的能量状态相对降低成为稳相 。在这种特定的状态下，制备得到金刚石在 热力学上是可行的。根据前文的研究，取 为 0．28来计算激活石墨的热力学数据并代替石墨 的热力学数据，用通常自由能最小化的热力学程序就可以计算碳氢氮体系生长金剐石的非平 收稿 日期}1998—0l08 收修改稿 日期；1998—04—20， 国家 自然科学基盒 (N0~11八“六三 高科技基金 (No863—715010-0050)资助巧j目， *通讯联系人 。 第一作者：刘志杰．男26岁，在读博士研究生I研究方向 金刚石等亚稳态薄膜材料的生长实验及其机理 维普资讯 第 1期 刘志杰等：非平衡定态相图在含氨体系低压金刚石沉积中的应用 ·133- 衡定态相图。 2 结果与讨论 ； I一量 E 昌 ； 计算得到的碳氡氮体系金刚石生长的相图和实验点的对 比参见图 1 图中的实三角代表 近几年在国际刊物上发表的实验 点，均取 自参考文献[1～9]。从图上可以看出：最近几年 的实 验点均落在理论所预言的金刚石生长区中，说明该理论相图既可以应用于碳氢和碳氢氧体系 金刚石生长实验的理论分析，也可以应用于碳氢氮体系实验研究