非晶硅碳(a-SiC∶H)薄膜光学常数透射谱表征.pdfVIP

第 26 卷 　第 1 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 1 2005 年 1 月 　　 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS 　　Jan. ,2005 非晶硅碳( aSiC ∶H) 薄膜光学 常数的透射谱表征 胡志华1 ,2 　廖显伯1 ( 1 中国科学院半导体研究所凝聚态物理中心 表面物理国家重点实验室, 北京　100083) (2 云南师范大学太阳能研究所 , 昆明　650092) 摘要 : 报道了一种用透射谱数据分析法计算非晶硅碳薄膜的厚度、折射率、吸收系数和光学带隙等光学常数的方 法和程序. 这一方法引用有效谐振子模型理论的折射率色散关系 ,所有公式均