周鼎成 201121020116.docVIP

真空物理技术结课论文 论文名称： 真空检漏技术 年级专业：　　　 应用物理1101 　　 学生姓名：　 周鼎成 　　 学 号：　　　 201121020116　　　　 真空检漏技术 周鼎成 （河南工业大学 理学院，河南，郑州，450001） 摘要：真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。检漏技术全盛的时期是五十年代中期到六十年代中期，主要是大型金属真空系统的出现迫切需要解决检漏问题。出现质谱检漏计以后使检漏技术发生了很大跃进，今日的质谱检漏计已成为最重要的检漏方法。但与此同时，简易检漏技术也在深入发展，与质谱检漏互为补充。Vacuum leak detection technology Ding-Cheng.Zhou （Henan University of Technology college of science，Henan?，Zhengzhou.450001abstract ：The vacuum leak detection is to detect the vacuum system leakage position and the size of the process. Leak detection technology of prime time is the mid 50 s to 60 s, mainly is the emergence of large metal vacuum system urgently needs to solve the problem of leak detection. A mass spectrometer leak detection meter after the great leap forward in the leak detection technology, todays mass spectrometer leak detection meter has become the most important methods of leak detection. But at the same time, simple leak detection technology in developing in depth, and also with mass spectrometer leak detection complement each other. Therefore, the research of vacuum leak detection technique, to deepen our grasp of the vacuum leak detection technology has the vital significance. Key Words：vacuum leak-sensing；leak detector；Mass spectrometer leak detection；Leak detection method. 前言 真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。漏率的大小需进行校准后方能确定。 1真空的基本概念 1.1真空的定义 真空是一种不存在任何物质的空间状态，是一种物理现象。 1.2基本特点： 在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。主要有如下几个基本特点： （ 1 ）真空状态下的气体压力低于一个大气压，因此，处于地球表面上的各种真空容器中，必将受到大气压力的作用，其压强差的大小由容器内外的压差值而定。由于作用在地球表面上的一个大气压约为 101325N/m^2，因此当容器内压力很小时，则容器所承受的大气压力可达到一个大气压。 （ 2 ）真空状态下由于气体稀薄，单位体积内的气体分子数，即气体的分子密度小于大气压力的气体分子密度。 1.3真空度概念 处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用真空度表示。若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，即： 真空度=(大气压强—绝对压强） 1.4真空区域划分 真空区域 压强范围 托(Torr) 帕