基于ANSYS的二维微动平台的性能分析.pdfVIP

2013年 5月 机床与液压 May2013 第4l卷 第9期 MACHINETO0L HYDRAULICS Vol_4lNo．9 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2013．09．042 基于ANSYS的二维微动平台的性能分析 张艳君 (广州机械科学研究院有限公司，广东广州510700) 摘要：设计了一个具有杠杆放大机械的二维柔性铰链式微动平台，分析其结构非线性和变形非线性对系统特性的影 响。采用有限元分析方法，对微动工作台进行了静力学、模态和动态响应分析，得到微定位工作台有效工作的谐振频率和 振型以及阶跃响应 ，验证了所设计平台的静力学性能、工作带宽和动态超调均满足设计要求。 关键词：微动平台；有限元 ；动态特性；工作带宽 中图分类号：TH702 文献标识码：A 文章编号 ：1001—3881(2013)9—154—3 PerformanceAnalysisof2D JigglePlatform BasedonANSYS ZHANGYanjun (GuangzhouMechanicalEngineeringResearchInstituteCo．，Ltd．，GuangzhouGuangdong510700，China) Abstract：A2Dflexiblehingestypejiggleplaftormwithlevermagnifyingmechanismwasdesigned．Theinfluencesofstructural nonlinearandfomr ationnonlinearonthesystem characterswereanalyzed．AdoptingFEM method，staticsanalysis，modeanalysisand dynamicresponseanalysisweremadetothejiggleplatform．Theresonancefrequency，vibrationmodeandstepresponsewhenthej gleplatfomr workedeffectivelyweregotten．Thestaticsperfomrance，workingbandanddynamicovershootingofthedesignedjiggle platfomr canmeetdesigningrequirements． Keywords：Jiggleplaftomr ；FEM ；Dynamiccharacter；Workingban 随着纳米技术的兴起和迅猛发展 ，基于压电驱动 跃响应，验证了设计平台能满足其静、动态特性 的 的纳米级微定位技术已成为微机电系统、扫描探测显 要求。 微镜、超精密加工 、细胞操作等诸多前沿技术的基础 1 二维微动平台的结构设计 支持技术。尤其是多自由度纳米级微定位工作台的应 1．1 平台结构设计 用越来越受到重视。纳米级微定位系统的传动副中的 为了提高控制系统的定位精度，平台采用柔性铰 柔性铰链是一种结构紧凑、体积小、无机械摩擦、无 链结构结合放大机构的结构形式。柔性铰链是一种弹 间隙的传动导向机构，具有高精度和高稳定性的特 性元件，具有机构简单、质量轻、无摩擦、无噪声 、 点。以柔性铰链为导向机构的高精度微动工作台已被 不需要润滑、运动灵敏度高、加工简单等特点，广泛 广泛用于要求具有纳米级定位分辨率的技术领域内。 应用于微动平台的设计中。放大机构通过柔性铰链采 在基于压电陶瓷驱动的纳米级微定位系统中，压电陶 用杠杆原理可以放大驱动器产生的位移 ，加大定位 瓷驱动器的固有频率较高，一般为7—8kHz，电路 范围。 处理的频率也较高，可以到 1000kHz左右，