原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
金属学与金属工艺
维普资讯
2006年4月 金刚石与磨料磨具工程 April．2006
总第 152期 第2期 Diamond＆AbrasivesEngineering Seria1．152 No．2
文章编号：1006—852X(2006)02—0061—04
RBR控制在超大规模集成 电路制造的
化学机械抛光工艺中的应用
李秀娟 金洙吉 康仁科 郭东明 苏建修
(1．知识产权学院华东政法学院，上海 ，200042)
(2．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连 116024)
摘 要 本论文介绍了RBR过程控制技术在超大规模集成电路(UKSI)制造中的化学机械抛光(CMP)这一关键工艺中
的应用。CMP工艺中的RBR控制是利用CMP工艺后检测获得的抛光质量数据来调整下一片硅片抛光的输人工艺参数
的方法实现的。由于影响CMP过程的参数比较多，并且存在一些复杂的变化过程 (如抛光垫老化、更换抛光垫等)，使得
其 RBR控制是一个多目标、多输入、多输出的控制过程。本文结合CMP工艺分析了RBR控制，并以双指数权重调整方
法为例描述了用于CMP的RBR控制算法，最后介绍TRBR控制在CMP工艺应用中的最新研究结果。
关键词 化学机械抛光 RBR控制 过程控制
中图分类号 TG58 文献标识码 A
RBR controlappliedonchemical—-mechanicalpolishingprocess
inULSImanufacturing
LiXiujuan’_ JinZhuji KangRenke GuoDongming Sudianxiu
(i．IPSchool，EastChinaUniversityofPoliticsandLaw，Shanghai200042，China)
f2．KeyLaboratoryforDalianUniversityofTechnologyPrecisionNon—traditionalMachining
ofMinistryofEducation，Dalian116024，China)
Abstract Chemical-mechanicalpolishing(CMP)processisthekeyimportantplanarizationprocessinULSImanufacturing．The
RBRcontrolappliedontheCMPprocessisintroducedinthispaper．TheRBRcontrolofCMPprocessadjustsitsrecipeprimarily
relyingonthemeasurementofthepost-polishingparameters．TherearemanyparameterswhichcaninfluencetheCMPprocess，
andtherearealsosomecomplexprocess(forexamplethewera—outofthepad，andtheexchangeofthepad)．Sothosemakethe
RBRcontrolofCMPprocessbecomeamulti—object，multi—in—putandmulti—out—put(MOMIMO)controlprocess Takingthe
doubleexponentially—weighted—moving—averagemethodasanexample，thecontrolarithmetic
文档评论（0）