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第23卷第 1O期 中国有色金属学报 2013年 10月 V01．23No．10 TheChineseJournalofNOnferrousMetals Oct．2O13 文章编号：1004—0609(2013)10—2962-08 草莓状PS／SiO2复合磨料的可控合成及其抛光性能 陈 杨 ，穆为彬 ，陈志刚 f1．常卅1大学 材料科学与工程学院，常州 213164； 2．苏州科技学院 化学与牛物工程学院，苏州 215011) 摘 要：以经过聚乙烯吡咯烷酮(PVP)进行表面修饰的聚苯乙烯(Ps)微球为内核，在碱性条件下采用溶胶一凝胶法 在 PS微球直接包覆 SiO2，制备有机 ／无机 PS／SiO2复合微球，通过控制反应体系中正硅酸~ H(TOES)的浓度来摔 制复合微球中氧化硅的质量分数，并借助原子力显微镜(AFM)考察了PS／SiO2复合磨料对硅热氧化片的抛光特性， 初步分析有机／无机复合磨料的非刚性力学特性对抛光质量的影响。透射电镜(TEM)结果显示：复合微球具有草莓 状核壳包覆结构，其氧化硅壳层是由 SiO2纳米颗粒所组成；热失重分析(TGA)表明：样品中氧化硅含量为 12％～69％f质量分数1。AFM测试结果表明：复合磨料中氧化硅的含量对抛光后晶片的微观形貌、粗糙度及表面轮 廓具有明显的影响。 关键词：核壳结构；复合微球；磨料；聚苯乙烯；氧化硅 中图分类号：TB383 文献标志码：A Controlledsynthesisofstrawberry-likePS／SiO2composite abrasivesandtheirpolishingbehavior CHEN Yang，MU Wei—bin，CHEN Zhigang (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ChangzhouUniversity,Changzhou213164，China； 2．DepartmentofChemistryandBioengineering，SuzhouUniversityofScienceandTechnology，Suzhou215011，China) Abstract：Thepolyvinylpyrrolidone(PVP)modifiedpolystyrene(PS)microsphereswerefirstsynthesizedbysoap—rfee emulsionpolymerizationmethod，andtheSiO2nanoparticlesweresubsequentlycoatedonthesurfacesofthePScoresby sol—gelmethodinalkalineNH4OH／ethanolsolutions．Thesilicacontentofcompositemierospherescanbecontrolledby adjustingtheconcentrationoftetraethoxysilane(TEOS)inthereactionsystem．Theoxidechemicalmechanicalpolishing (CMP)behaviorofas-preparedPS／SiO2compositeabrasiveswasinvestigatedbyatomicforcemicroscopy(AFM)．The effectofnon-rigid mechanicalproperty oforganic／inorganic composite abrasiveson the CMP behaviorwasalso discussed．TEM re