楔条形阳极收集器的参量设计与工艺优化.pdfVIP

37 1 Vol. 37 No. 1 2008 1 ACTA PHOT ON ICA SINICA January 2008 * 1, 2 1 1, 2 1 1, 2 缪震华 , 赵宝升 , 刘永安 , 朱香 , 张兴华 ( 1 , 710119) (2 , 100039) : 分析了楔条形阳极收集器各参量对探测器主要性能的影响, 研究了圆形收集器的设计方 法, 制定并优化了相应的制作工艺. 以此为基础, 设计和制作了两块有效探测面积 5 48 mm周期 1. 2 mm绝缘沟道宽度30 Lm电极厚度分别为1Lm 和2 Lm 的圆形收集器. 通过对比和分析这两 块收集器的电阻和电极电容值以及相应的成像实验, 验证了上述研究方法的正确性和/ 先光刻腐蚀 后电镀增厚0 工艺方案的可行性.