CaO—B2O3-SiO2微晶玻璃LTCC基板的烧结性能研究.pdfVIP

· 352 · 材料导报 2008年 12月第22卷专辑Ⅻ CaO—B2O3-SIO2微晶玻璃 LTCC基板的烧结性能研究 干林杰 ，张树人 ，周晓华 ，胡鉴耿 ，王中俭 1 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 610054；2 华东理工大学无机材料系，上海 200237 摘要 CaO-B2Oa—Si02微晶玻璃基板具有介电常数低、能与金属电极低温共烧等特性。设计了3种玻璃配方， 重点研究了其烧结性能和晶相组成。通过差热分析、X射线衍射晶相分析、SEM形貌分析、烧结收缩实验以及介电性 能测定等，研究了玻璃组成、粉体颗粒度和烧结制度等对材料晶柏组成和性能的影响。结果表明，主晶相为硅灰石，粉 体颗粒度 D5o在 2 左右，经85O 2、10min烧结，可以获得致密度高、介电常数和介电损耗低的LTCC材料。 关键词 CaO-t~O3一SiO2系统微晶玻璃 低温共烧 晶相分析 ResearchonSinteringPropertyofCaO-B203一SiO2System GlassCeramics GANLinjie，ZHANGShuren，ZHOUXiaohua，HUJiangeng，WANGZhongjiane 1 StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices，UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina，Chengdu610054；2 DepartmentofInorganicMaterials，EastChinaUniversityof Science Technology．Shanghai200237 Abstract CaO- Oa—SiO2glass—ceramicischaracterizedwithbothlow temperaturefiringwithmeta1electrode andexcellentdielectricproperties．Inthispaper，threekindsofglasscompositionsaredesigned，focusingontheirsinte— ringperformanceandcompositionsoftheircrystalphase．Thesinteringshrinkage，dielectricconstantandloss，diffe- rentialthemr alanalysis，SEM andXRD areperfomr edtostudytheinfluenceofglasscompositions，theparticlediame— terofthepowderaswellasthesinteringprocessonthematerialproperties．Theexperimentresultsshow thatitsmain crystalphaseiswollastonite，andtheparticlediameterDsoisaround2 “rrLAftersinteredwet1at850℃ ／10min，the LTCCmaterialwithhighdensification，low dielectricconstantand1OSScanbeobtained．Thematerialrepresentsexcel— lentdielectricproperties，whichisdesirableforLTCC application． Keywords Ca -B2 3一Sj 2glass—ceramics，low temperaturecofiring，crystalphaseanalysis 精确称量后在混料机 中均匀混合 ，使用铂金坩埚熔制，在 0 引言 1300℃分批加料 ，熔制温度控制在 1400~1450℃，保温4～6h， 在电子元件小型化和高密度组装的发展趋势下，基板材料 以保证得到完全均匀的玻璃液。将玻璃液在去离子水中淬冷 ， 必须具备更低的烧结温度和更优异的介 电性能。CaB2Os— 通过高速球磨机制备不同粒径的粉料，再经干燥和分级后待用。 SiOz CBS 系统微晶玻璃制备的低温共烧陶瓷 LTCC 由于具 表 1 a 微晶玻璃的组成 摩尔分数 有这样的特性而备受关注f1]。Ferro公司_33研制的CaO-B203一 Table1 CBSglass-ceramicscompositions si02系统微晶玻璃组成为 质量分数 ：CaO35 ～65 、B2O3 O ～5O％、Si0210 ～65 。其中的1种组成或2种组成