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金刚石薄膜的性质_制备及应用.pdf
17 1 Vol.17 No.1
2002 3 NEW CARBON MATERIALS Mar.2002
: 1007-8827 (2002)01-0062-09
、
1,2 1 1,2 1
满卫东 , 汪建华 , 王传新 , 马志斌
(1. , 430073;
2. , 230031)
: , 。
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。 :MWCVD 、、;
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: TQ 163 : A
1 、、
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700 , , “ 。1796 , S .Tennant CO ,
2
”Diamond “Adamas”, 。
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[ 1]
。1 。 , 。2
[2]
。
1
Table 1 Some of the outstanding properties of diamond 2
E treme mechanical hardness (ca.90 Gpa)and wear resistance Table 2 Some thermodynamic properties of
Highest bulk modulus (1.2×1012 N ·m-2 )
-13 2 -1 graphite and diamond
Lowest compressibility (8.3×10 m ·N )
Highest room temperature thermal conductivity Diamond Graphite
3 -1 -1 1.900 0.000
(2×10 W ·(m·K) ) ΔH°/kJ·mol
-1
Very low thermal e pansion coefficient at room temperature S°/J·(mol ·K) 2.440 5.690
(
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