高热导率陶瓷材料的进展.pdfVIP

真空电子技术 　　　　　　　　　　 　综 　　　　述 　 　　　　　　　　　VACUUM EL ECTRONIC S 高热导率陶瓷材料的进展 高陇桥 (北京真空电子技术研究所 ,北京 　100016) The Progress of High Thermal Conductivity Cera mic Materials GAO Longqiao ( B eij ing Vacuum Electronics Research Institute ,B eij ing 100016 , China) Abstract : 　In this paper ,we present an overview of the progress of high thermal conductivity ceramic materials , including beryllia (BeO) ,boron nitride (BN) and aluminum nitride (AlN) ceramic materials etc . The development prospects and application of AlN ceramic ma terial are introduced with emphasis. 　　Key words : 　Boron nitride ; Aluminum nitride ; High thermal conductivity 摘 　要 : 　叙述了在电子器件上常用高热导率陶瓷材料的性能和应用 ,主要包括 BeO ,BN ,AlN 等三种陶瓷材料 。特别介 绍了AlN 陶瓷的发展前景及其最新应用 。 　　关键词 : 　氮化硼 ;氮化铝 ;高热导率 ( ) 　　中图分类号 :TN756 　　文献标识码 :A 　　文章编号 2003 　　真空电子器件设计最主要的内容应包括电参数 设计 、结构设计和热耗散设计 3 部分 。作为电子器 件所用的介质材料也必须满足这 3 方面设计的要 求 ,即应具有良好的介电性能、机械性能和热性能 。 随着电子器件小型化和大功率输出 ,热耗散逐 渐成为一个关键的问题 。例如 ,螺旋线行波管输出 功率的进一步提高受限于两个热阻点[ 1～3 ] :螺旋线 图 1 　螺旋线型行波管示意图 和夹持杆之间的界面以及夹持杆和管壳之间的界 频作用将在各种材料中产生高频损耗而发热 。据测 面 。 定 ,在钼针 1 到钼针 2 之间的管壳内,平均高频损耗 为了解决以上两个热阻点 , 目前已成功的办法 P高频 ≈100 W 。 是将高导热的夹持杆和螺旋线与管壳焊接起来 。采 其次 , 电子束在高压电场作用下将轰击螺旋线 , 用此焊接的磁聚焦 、水冷却的螺旋线行波管 ,可以得 使其发热 。由于电子对螺旋线的轰击具有随机性 , 到如下的输 出功率 : 3 GHz 时 10 kW ; 10 GHz 时 5 因此螺旋线上各处的发热程度不同且轰击过程十分 kW ;18 GHz 时 3 kW 。 复杂而难以计算 ,