CMOS星敏感器焦平面装配及标定.pdfVIP

第38卷第9期 光 电工程 VO1_38．No；9 2011年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sept，2011 文章编号 ：1003—501X(2011)09—0001—05 CMOS星敏感器焦平面装配及标定 钟 兴 ，金 光 ，王 栋 ，邢 飞2 (1．中国科学院长春 学精密机械与物理研究所，长春 130033； 2．清华大学 精密仪器与机械学系，北京 100084) 摘要：针对高精度CMOS星敏感器的使用要求，本文对焦平面装配的误差进行了理论分析，搭建了CMOS星敏 感器装配及标定测试系统，利用长焦距平行光管像面移动测量方法进行了星敏感器轴上和轴外的星点成像，获取 了焦平面离焦量及倾斜数据。在这些数据指导下，成功完成了对某焦距 50mm，相对孔径 1／1．25，全视场 20。的 CMOS星敏感器的焦平面装配，轴上点离焦小于0．01mm，倾斜小于2，。对装配后的星敏感器在高精度气浮转台 上进行了主距测试和畸变标定，标定计算得到主距为49．77mm，精度 O．0072mm。利用三阶多项式拟合的方法对 系统畸变进行了修正，修正后的残余畸变对单个星点测量的精度影响可减小到 6．6左右，满足高精度星敏感器的 使用要求。 关键词：CMOS星敏感器；焦平面：装配；标定 中图分类号：V448．222 文献标志码 ：A doi：10．3969j／．issn．1003—501X．2011．09．001 FocalPlaneAssemblyandCalibratingofCM OSStarSensor ZHONG Xing ，JIN Guang ，WANG Done ，XING Fei (1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandP ics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．DepartmentofPrecisionInstrumentandMechanics，TsinghuaUniversity，Bejiing100084，China) Abstract：Focalplane’Smisalignmentisanalyzed theoretically tomatchtherequirementofhighprecisionCM OS star sensor．System forassemblyandcalibratingmeasurementofCMOSstarsensorisestablished ． Defocusingdistanceand tiltofdetectorplaneareacquiredby on—axisand off-axisstarsensorimagingtestthroughcollimator’S imageplane moving．SomeCMOSstarsensorwith50mm focallength，F／I．25，and20。fieldofview issuccessfullyassembledunder directionoftestingdata．Deofcusingdistanceislessthan0．Olmm．andtiltislessthan2． Principaldistancetestand distortioncalibrationaredonewithmeasuringsystem ．Principaldistanceiscalculatedtobe49．77mm andtheerroris