EUV透射光栅的热力学有限元分析.pdfVIP

第37卷第5期 光 电工程 V0lI-37．NO．5 2010年 5月 Opto—ElectronicEngineering May,2010 文章编号：1003—501X(2010)05—0091—06 近地空间下X／EUV透射光栅的 热力学有限元分析 宋 曦 ，朱效立 ，韦 飞 ，谢常青 ，谢二庆2，刘 明 (1．兰州大学 物理学院 电子材料与器件工程研究所，兰州 730000； 2．中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成技术实验室，北京 100029； 3．中国科学院空间科学与应用研究中心 ，北京 100080) 摘要：为了实现极紫外透射光栅光谱仪在近地空间的应用，针对其核心色散元件2000线／毫米X／EUV透射光栅， 本丈采用有限元方法建立了机械模型并对其热学性能和耦合特性进行计算机模拟计算，通过模拟热膨胀系数不同 的材料构成的薄膜光栅在近地空间受到太阳辐照后的温度场，得到该光栅表面的热形变分布。结果表明，在高真 空热环境下，该透射光栅表面形变量平均可达0．56gm，而影响光栅周期的纵向形变平均值则为71．5am。由于热 形变会对光栅衍射效率产生重要影响并导致光谱仪精度和性能的下降，利用有限元分析模拟的结果，进一步优化 光栅的封装和设计制作，使其栅线处纵向热形变趋近于零，为2000线／毫米X／EUV透射光栅在太阳极紫外辐射 探测器上得到应用提供 了科学依据和有效支持。 关键词：近地空间；X／EUV；透射光栅；有限元；热形变 中图分类号：TN253 文献标志码：A doi：lO．3969~．issn．1003—501X．2010．05．017 Thermodynam icsFiniteElementAnalysisofX／EUV TransmissionGratinginTerrestrialSpace SONG Xi．，ZHU Xiao．1i，W EIFei3 XIEChang．qing，XEIEr-qing ，LIU Ming ， (1．InstituteofElectronicMaterials， icalScienceandTechnologySchool，LanzhouUniversity，Lanzhou730000，China； 2．KeyLabofNano-fabricationandNovelDevicesIntegratedTechnoloyg，InstituteofMicroelectronics， ChineseAcademyofSciences，Beoing100029，China； 3．CenterForSpaceScienceandAppliedResearch，ChineseAcademyofSciences，Bejiing100080，China) Abstract：InordertomeettherequirementofExtremeUltraviolet(EUV)transmissiongratingspectrometerinterrestrial space，thermaland mechanicalpropertiesof2000 l／ram X／EUV transmission gratingwasinvestigated by meansof simulationmethod．Themechanisticmodelwasestablishedanditsthemr alandcouplingpropertiesweresimulatedusi