DFC-600A超精密单点金刚石飞切机床研制.pdfVIP

第38卷第 12期 光电工程 、，o1-38．NO．12 2011年 12月 Opto—ElectronicEngineering Dec，2011 文章编号：1003—501X(2011)12—0081—04 DFC一600A超精密单点金刚石飞切机床研制 王宝瑞，吉 方，赵午云，陈东生， 陶继忠，张连新，夏 欢 (中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621900) 摘要：单点金刚石切削是 目前理想的KDP晶体加工方法。本项目立足 自主技术研发，通过深入研究KDP晶体的 单点金刚石切削机理，突破了超精密空气静压主轴和导轨设计及制造关键技术，解决了气浮主轴和工作台高精度 恒速直驱问题，研制成功了超精密单点金刚石飞切机床 DFC．600A。通过工艺实验表明，该机床能够实现大口径 KDP晶体、铝合金及聚碳酸酯等光学元件的超精密加工的需求。 关键词：单点金刚石；飞切；空气静压；恒速直驱 中图分类号：TH69 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2011．12．015 DevelopmentofDFC--600AUltra--precisionSingle--point DiamondFlyCuttingM achineTool Ⅵ，ANGBao—rui，JIFang，ZHAOW u-yun，CHEN Dong—sheng， TAO Ji-zhong，ZHANG Lian-xin，XIA Huan (InstituteofMachineryManufacturingTechnology，CAEP，Mianyang621900，SichuanProvince，China) Abstract：Single—pointdiamondcuttingisthebestmethodtomachinetheKDPcrysta1．Onthebasisofindependent study and development，the key technologiesofultra—precision gashydrostatic spindleand guideway design and manufacturing，constantvelocity directdrive technology ofhigh precision spindle and worktable are solved and DFC-6·00A ultra--precision single—p·ointdiamond fly cutting machinetoolisdeveloped successfully by studying the single—pointdiamondcuttingmechanism thoroughly．Theprocessexperimentresultsdemonstratethatthismachinetool canrealizetheultra—precisionmachiningoflarge—scaleopticalcomponents，suchasKDPcrystal，aluminum alloyand polycarbonate． Keywords：single-pointdiamond；flycutting；gashydrostatic；constantvelocitydirectrdive 0 引 言 KDP晶体是一种优质的非线性光学材料，其作为光学倍频转换器及电光开关元件在 ICF高功率固体激 光系统中发挥着重要作用。KDP晶体具有质地软、易潮解、脆性高、高温度敏感性等特点，是一种非常难 加工的光学材料，但是 ICF激光系统对KDP晶体元件的表面粗糙度提出了极高的要求(RMS≤5nm) J。 K