恒撞击力轻敲模式AFM的设计及研究.pdfVIP

维普资讯 第 3l卷 第 1期 光电工程 Vo1．31，No．1 2004年 1月 Opto-ElectronicEngineering Jan，2004 文章编号：1003—501X(2004)01—0040—03 恒撞击力轻敲模式AFM的设计及研究 马俊锋，杨甬英，陈 伟 ，卓永模 (浙江大学现代光学仪器 国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘要：在轻敲模式AFM 中，利用DMT模型与光探针点衍射理论结合来检测微探针的振动，并对 振动信号进行频率域分析，通过检测和控制信号中高次谐波分量使针尖一样品间撞击力保持恒定。 测试实验表明，该系统具有结构简单、可测不同材料的样品和对软质材料样品损伤小的优点，其 测量重复性可达 1％，分辨力可达 1～5nm。 关键词：原子力显微镜：轻敲模式；振动测量；光探针 中图分类号：TH742 文献标识码：A Designandresearchofconstantimpingementforceatomic forcemicroscopeintappingmode MAJun-feI ，YANGYong-ying，CHENWei，ZHUO Yong-mo (StateKeyLaboratoryofMode OpticalInstruments，Zh~iangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：In tappingmodeatomicforcemicroscope，thevibrationofmicroprobeisdetectedbyusing thecombinationofDMT (Derjaguin-Muller-Toporov)modelandlightprobepoint-diffractiontheory． Thevibrationsignalisanalyzedin~equencydomain、Theimpingementforcebetweentheprobepoint and sample is maintained constant through detecting and controlling the high-order harmonic componentofsigna1．Thetestingexperimentsshow thatthesystem hastheadvantagesofsimple configuration，testing differentmaterialsandabitdamagetO thesoftmaterialsample．Itsmeasuring repeatabilityandresolutioncanbe1％ and1-5nm．respectively． Keywords：Atomicforcemicroscope；Tappingmode；Vibrationmeasurement；Lightprobe 引 言 原子力显微镜有三种 I：作模式…，即接触模式、非接触模式和轻敲模式。轻敲模式是ZhongQ等人首 先提出的 1，它相对传统的接触式有着较小的横 向接触力和剪切力，而且避免了针尖粘附到样品上，对样 品的损伤较小：相 比非接触模式，轻敲模式义有着更高的分辩力和较大的线性工作范围，使得垂直反馈系 统高度稳定，可以重复进行样品测量…，故而轻敲模式已经成为了原子力显微镜的一种主要工作模式。本 文提 出了一种使用新型的控制反馈方法的恒撞击力轻敲模式原子力显微镜 ，新系统利用 DMT fDe0aguin．Muller．Toporov)模型来分析微探针与样品间的作用力；同时利刚光探针点衍射NNtJ构造系统中 的微位移传感器来检测微探针的振动；然后通过对轻敲模式中针尖与样品间周期性碰撞产生的高次谐波分 量的控制，来确保针尖与样 品间撞击力保持恒定；最后利用计算机控制二维精密压 电柔性铰链工作台和反