高精度位置随动系统的误差源分析.pdfVIP

维普资讯 第35卷第8期 光电工程 Vo1．35，No．8 2008年 8月 Opto—ElectronicEngineering Aug，2008 文章编号：1003—501X(2008)08—0005—05 高精度位置随动系统的误差源分析 杨 辉 一，吴钦章 ，范永坤 ，李艳平 (1．中国科学院光电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：以经典三闭环控制系统为研究对象，对其误差源做了较为详尽的分析，将系统误差分为通过算法可调节的 误差和通过算法无法调节的误差两大类。文中对舍入误差、传感器量测误差、采样率误差和带宽引入的误差这四 种主要的误差源做 了定量分析，并从物理运动学角度按由内环到外环的顺序分析 了这几种误差在环间的传递与叠 加。通过这种对误差的定量分析 ，可以直观的观察各类误差在总误差中所占的比重，为有针对性的设计系统提供 了重要的理论依据。最后以某光电量测设备为控制对象进行了实验，实验结果表明该误差源分析理论是可行的。 关键词：误差源分析；三闭环；运动学；位置随动系统 中图分类号：V557 文献标志码：A AnalysisofErrorSourceforHighPrecisionP。ositionServoSystem YANGHui，一，WUQin．zhang，FANYong．kun，LIYan—ping (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchoolofChineseAcademyofScience，Bejiing100039，China) Abstract：Based on thethreeclose—loop high precision position servo system ，the errorsourceisintroduced and categorizedintotwoerrors．Theonecanbeadjustedbythecontrolalgorithm andtheothercannotbeadjustedbythe conrtolalgorithm ．Theroundingerroro‘fcomputation，htemeasurementerrorofhtesensor,theerrorofthesampling frequency,na dtheerrorrfom thebandwidtharenaalyzedquantitatively,Thetransmissionandsuperpositionofhteerror ma ongtheloopsareanalyzedaccordingtotheordersrfom theinnerlooptohteouterloopatthepointofview ofthe physicskinematics．Throughhtequnatitativena alysisoftheerrors，theproportion ofeacherrorinhtewholeerroris shown，whichwillprovideimpo~na ttheoreticbasisforthesystem design．Theexperimentiscarriedoutnadhtetheoryof theerrornaalysisisprovedtobefeasible． Keywords：errorsource；threeclos