基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型.pdfVIP

第37卷第11期 光 电工程 v01．37．No．1l 2O10年 11月 Opto—ElectronicEngineering Nor,2010 文章编号：1003—501X(2010)1卜0098—05 基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型 杨 鹏 1,2，伍 凡 ，侯 溪 ，吴高峰 (1．中国科学院光 电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：Fizeau干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式，对于干涉仪的结构 及其影响因素在理论上已进行 了较广泛的研究。但如何对Fizeau干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临·的问题。本 文首先简要介绍Fizeau干涉仪及相位解包裹的基本原理并利用Matlab编写了基于矩形域的解包裹程序。然后利用 Zemax光学设计软件建立起Fizeau干涉仪通用模型，利用四步相移法对干涉仪的面形检测进行仿真并利用编写的 解包裹程序计算出待测面的面形。仿真面形检测结果与真实情况一致表明Fizeau干涉仪通用模型能较好的对实际 干涉仪面形检测进行仿真。 关键词：光学设计；干涉仪；仿真分析 中图分类号：TP60 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003．501X．2010．11．018 FizeaulnterferometerM odelBaseonZEM AX YANG Peng一，W U Fan ，HOU Xi，W U Gao．feng (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：Fizeauinterferometerwiththeadvantageofcommonopticalpathwhichthereferencelightandtestlightare passedbecomesmainstructureofinterferometer．Thestructureofinterferometeranditsinfluencingfactorsintheoryhave beenanalyzedbylotsofliterature．Buthow tosimulateFizeauinterferometeristheproblem wefaced．Thisarticlefirst introducesthebasicprincipleofFizeauinterferometerand phaseunwrapping，andthephaseunwrappingprocedures based on Matlab werewritten．Then Zemax opticaldesign softwraewasused tomodelFizeau interferometerand four-stepphasesl~iftingwasusedtosimulatesurfacetesting．Byhtephaseunwrappingprocedures，htetruesurfacetobe testedweregot．ThesimulationoftestingresultisinlinewithhteresultgivenbyrealFizeauinterferomete~Simulation resultshowsthatthemodelcansimulatetheactualopticalinterference．