基于双光栅的平行度检测.pdfVIP

第39卷第7期 光 电工程 、，0l-39．NO．7 2012年 7月 Opto—ElectronicEngineering July,2012 文章编号：1003—501X(2012)07—0061—06 基于双光栅的平行度检测 t 符 红 ，吴 琼 ，v，林 斌 一，曹向群 b， (浙江大学 a．现代光学仪器国家重点实验室；b．国家光学仪器工程中心，杭州 310027) 摘要 ：为了对大型 目标的平行度进行测量，设计并搭建了一套由双衍射光栅组成的平行度检测系统 采用两块衍 射光栅正交组成光路，产生多条平行线作为基准线。通过照相机对参考线和待测 目标进行拍照，对获得的图像进 行处理，利用参考线的平行度偏差对目标所在平面的倾斜进行矫正，得到待测物的平行度测量结果。测量结果表 明这种方法简单准确，满足测量精度 高。 关键词：衍射光栅；数字图像处理；坐标转换；平行度 中图分类号 ：TN247；TN253 文献标志码 ：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2012．07．010 TheM easurementofParallelism BasedonDiffractionGrating FUHong，¨，WUQiong ，’LINBin，u，CAOXiang．qun， (a．StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation； b．CNERCforOpticalInstrument，Zh~iangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Forparallelism measurementoflargeobject，aparallelism measuringsystem whichiscomposedoftwo diffractiongratingsisdevisedandestablished．Thetwogratingsareplacedorthogonal，andproduceseveralparallellines， whichcanbetakenasbaselinestomeasuretheparallelismoftheobject．Thepicutretakenbythecameraisincludingthe baselinesandtheobject’Slines．Throughthispicture，itwillgetthecoordinatesofthebaselinesandtheobject’Slines．By theanglebetweenthebaselines，itcancorrecttheanglebetweentheobjectandthecamera．Bytestingtheangleofthe largeobjectinthenewcoordinatesystem，theparallelismoftheobjectcanbego~en．Theresultindicatesthatthemethod issimplewithhighaccuracy． Keywords：diffractiongratings；digitalimageprocessing；coordinatetransformation；parallelism 0 引 言 在生产生活和建设过程中，一些大型设备和建筑物通常具有体积较大、距离较远等特点，这些物体中 的某些立柱、横梁或其他部分可能有很高的平行度要求。在实际生产过程中，对大型工件平行度进行检测 是 比较 困难的，也是必须的。 目前，该类工件的平行度测量还缺少理想的检测装置和检测方法。常用的方法如 自准直方法、百分表 法等L1J，其原理比较简单，对小 口径、轴较短的单