介质多层膜的热吸收.pdfVIP

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光电工程

维普资讯 第2&卷第6期 光电工程 Vo1.28,No_6 2001年 12月 Dec,2001 文章编号:1003-501X (2001)06-0033-04 介质多层膜的热吸收 齐文宗,张云洞 (中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209) 摘 要:根据薄膜光学基本理论,利用一摄近似数学方法,给出了s,P偏振态平行光在两弱吸收 介质边界反射率厦透射率的简单表达式,并依此研究了弱吸收介质单层膜及多层膜的熟吸收.结 果表明,单一膜层的热吸收率,在膜层参数确定的蒂件下,不但取决于此膜层材料的淆光系数, 而且取决于相邻膜层的消光系数. 关键词:近似理论;微扰论;热吸收率;介质多层膜 中图分类号:0484 文献标识码:A ThermalAbsorptionofM ultilayerDielectricCoatings Cl1w%—z0lIg,ZHANGYun-dnog (InstituteofOpticsandElectronics,ChineseAcademy Sciences,Chengdu610209,Cd/na) Abstract:Accordingtothebasictheoryofopticalcoatings.simpleexpressionsforreflectivity and transmittanceofS.andP-polari~dparallellightathteinteafao~be 瑚 1twoweakabsoxbnetIllP.~ aale yenbyincansofhtefirst-orderapproximation.Thehtermalabsorptionofweakabsorbentsi】gle-lay目 dielectriccoatingnadmulmayerdielectricocatingsaresutdi~ basedOntheexpressions.Theresults show htatundertheconstantcoatingparametershtehtermalabsoprtino of theslngle-layetocatingnot only depends0nhteextinctioncoefficientofthecoating。butalso theextinctioncoefficientofthe adjacentcoating. Keywords:Approximationhteory;Perotrbationhteory;Th ermalabsorp~no ;Mulfilayerdielectriccoatings 引 言 随着各类型激光系统输出功率的不断增加,不仅对高反膜系的反射率和增透膜系的透射率的要求越来 越高,而且对各类膜系的抗激光辐照损伤阈值也提出了更为苛亮的要求。近年来,有关不同材料在不同波 长、不同脉宽激光辐照下的损伤机理方面.展开了大量的理论及实验研究工作 l。研究表明,红外波段连 续波激光对膜系的损伤主要为热损伤,而热源来之于薄膜系统的热吸收[4-5】。 有关金属材料薄膜反射、透射及吸收的经典理论IT-s]。同样可以处理弱吸收介质材料的体吸收。本文利 用可见及红外波段,介质材料消光系数远远小于其折射率的弱吸收条件 ( =n一让,O.ck ^),对不同 偏振态的平面入射电磁波在两弱吸收介质边界处及单薄膜体系内的反射率、透射率和热吸收率进行了一级 近似,分别获得了简单的数学解析式。最后给出了计算多层膜热吸收的一级微扰方法 。 收蔫 日期{2001-07-23

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