能动磨盘的结构优化设计.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 10期 光电工程 V0l-34．No．10 2007年 10月 Opto—ElectronicEngineering 0ct．2007 文章编号：1003—501X(2007)10—001卜05 能动磨盘的结构优化设计 张立平 一，曾志革 (1．中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：针对现有能动磨盘在工程加工应用中存在的问题，利用有限元法对不同结构的能动磨盘建立了静力学模型， 并进行计算和分析。以加工qb1800mm，F／1．5的大口径抛物面主镜为参照，分别对三种结构模型在不同基盘厚度 时进行了变形仿真计算。通过分析能动磨盘的变形精度与对应的驱动器产生弯曲力大小的关系，优化设计出适用 于 l800mm，F／1．5主镜加_T-的能动磨盘结构，并已投入应用。 关键词：光学加_T-；能动磨盘；有限元法；结构设计 中图分类号：TH74 文献标志码：A Structuraloptimizationofactivestressedlap ZHANG Li．ping一，ZENG Zhi．ge f1． eInstituteofOpticsandElectronics，theChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China) Abstract：ThepresentactivestressedlaphaslimitsinengineeringmanufacttLring．Thestaticmodelofactivestressedlap wasesatblished，calculated，andanalyzde byusingFiniteElementMethod(FEM)analysis．Asformnaufacturinga qbl800mm，F／1．5largeparaboloidalmirror,threestructuremodelswiht differentthicknessofbaseplatewerecalculated nadanalyzed respectively．By computinghterelationshipbetween htedeformingprecisionofactivesrtessedlapand correspondingforcegeneratedbymomentactuators，anew structureofactivestressedlapofrmna ufacttLringa l800mm ， F／1．5largepraaboloidalmirrorisobatinedandputintoapplication． Keywords：opticalmnaufacture；activelap；finiteelementmethod；strucutredesign 引 言 随着空间光学、天文观测等技术的不断发展，对大 口径高陡度的非球面光学主镜的光学质量和加工技 术提出了更高的要求…。非球面主镜的传统加工方法是将光学元件加工为球面以后再用小尺寸磨头进行局 部修磨来产生非球面面形，不仅效率低而且容易形成局部带差，影响最终的光学系统质量。小磨头计算机 控制抛光技术在加工大 口径高陡度的非球面主镜时也存在局限：产生中高频残差，面形收敛慢。能动磨盘 技术是有效解决上述问题的方法之一，能动磨盘根据工件的理想面形实时改变其工作面形从而适配被加工 区域的面形，因而能动磨盘具有优先去除表面最高点或部位的