偶联剂在溶胶中的应用研究.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 1期 光电工程 Vo1．34,No．1 2007年 1月 Opto—ElectronicEngineering Jan，2007 文章编号：1003—501x(2007)01—0069—03 偶联剂在溶胶中的应用研究 陶华锋 ，张 林2，王金凤3，袁斯华 ，杨忠孝 (1．电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川 成都 610054； 2．中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川 绵阳 621900； 3．四川大学 原子与分子物理所，四川 成都 6l0065) 摘要：采用激光粒度仪、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶红外分析测试仪(FTIR)以及紫外可见分光光度计(UV-Vis) 等测试手段，研究了在酸性条件下制备 SiO2溶胶过程中硅烷偶联剂(KH一570)对二氧化硅(sio2)溶胶性能的影响． 结果表明：加入硅烷偶联剂改性的sio2溶胶体系分散均匀无团簇，并且由此制得的SiO2薄膜透光率高于没有经 过改性的薄膜。 ‘ 关键词：SiO2溶胶；偶联剂；颗粒尺寸；分散性；光透性 中图分类号：0484 文献标识码：A Applicationofsilanecouplingagentinsol TAOHua．feng。，-，ZHANGLin ，WANGJin．feng3，YUAN Si．hua’，YANG Zhong-xiao‘ (1．SchoolofMicroelectronicsandSolid-StateElectronics，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChnia， Chengdu610054，China；2．ResearchCenterofLaserFusionCAEP，Mianyang621900，China； 3．InstituteofAtomicandMolecularPhysics，SichuanUniversiyt，Chengdu610065，China) Abstract：Theeffectofsilanecouplingagent(KH-570)ontheperformanceofSiO2solintheprocessofpreparationwiht acidcatalyzerwasanalyzedbymeansoflaserparticlesizeanalyzer．TransmissionElectronMicroscope(TEM)，Fourier infraredanalyzernadUV-Visspectroscopy．Theresearchresultsshow thatwihthtesilnaecouplingagent,hteparticlesize issmallna dtheSiO2solisdispersednadeven．Besides，thetransparency ofSiO2htinfilm preparedwithhtesilna e couplingagentisbetterhtna thatoftheSiO2thinfilm withoutthesilnaecouplingagent． Keywords：SiO2sol；Silanecouplingagent；Particlesize；Disperstion；Transparency 引 言 用溶胶一凝胶法制备高纯二氧化硅增透膜，因其极高的抗激光损伤阈值，很好的增透效果以及大面积 成膜均匀性好，在惯性约束核聚变和x光激光研究中备受重视 。2 。影响光学增透膜效果的因素很多，其 中溶胶过程中溶胶粒子的大小