双路差分白光干涉谱数据处理的新方法.pdfVIP

第36卷第5期 光 电工程 V0．l-36．No．5 2009年 5月 Opto—ElectronicEngineering May,2009 文章编号：1003—501X(2009)05—0140—05 双路差分白光干涉谱数据处理的新方法 杜艳丽 ，杨 静 ，严惠民2 (1．郑州大学 物理工程学院 电子科学技术系，郑州 450052； 2．浙江大学 光电系 国家光学仪器工程技术研究中心，杭州 310027) 摘要：差分白光干涉法测量极薄金属带材厚度时，为了克服传统极值法在白光干涉谱数据处理中抗噪声能力差的 缺点，提 出了一种基于最小均方差(MMSE)意义下的小波变换处理方法。该方法首先对干涉谱测量值进行归一化 处理，消除低频光强变化的影响，并用极值法求得光程差(OPD)的初值。然后求归一化后的干涉谱与基于初值的 理想干涉谱之间的均方差，当干涉谱的光程差的某个估计值与实际值最接近时，对应的干涉谱的均方差最小。通 过逼近法获得均方差最小时对应的估计值。数值仿真和实验结果表明，利用该方法处理差分白光干涉谱数据 ，可 以获得优于极值法的更高的数据精度 ，而且有效地提高了信噪比。 关键词：差分白光干涉；双路；干涉谱；小波变换；均方差；数据处理；信噪比 中图分类号：TN247 文献标志码：A New DataProcessingM ethodofTwo-pathDifferential W hiteLightInterferenceSpectrum DU Yan-H ，YANG Jing ，YAN Hui．min (1．DepartmentofElectronicScience＆Technology， icalScience＆ Technoloyg College，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou450052，China； 2．CNERCforOpticalInstrument，DeparmtentofOpticalEngineering，ZhejiangUniversiyt，Hangzhou310027，China) Abstract：Duringmeasuringthethicknessofmetallicfoilwithtandem differentialwhitelightinterferometry,anew daat processingmethodforwhitelightinterferencespectrum basedonhteMinimum Mean—squareError(MMSE)was proposedtoovercomethepooranti-noisecapabilityoftraditionalextremmu method．Inhtenew method，htespectrum me~ured valuewasfirstly normalized to eliminatethe nitensity modulation，nad na initialvalueofOpticalPaht Difference(OPD)wascalculatedbyextremum method．Themeansquaredeviationbetweenhtenomralizedmeasured spectrum na dhtetheoreticalspectrum from theinitialvaluewascalculated．WhentheestimatedvalueofOPD isclosest totheactualone，themena squaredeviationwillbeminimum ．