超精密研磨技术及其发展的研究_下_鲁聪达.pdfVIP

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2015-08-19 发布于重庆
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综述 2008 4 * () ,,,, (, 310032) : , , : ;; ; : TG58 : A : 1671 3133( 2008)04 0125 04 R esearch on the d evelopm en t of u ltra-precision lapp ing and d etection techno logy( 2 ) Lu Cong-da,W angXiao,W en ong-hui, Jiang Shao-fe,i ChaiGuo-zhong (TheMOE Key Laboratory ofM echanicalManufacture and Automation, Zhejiang University ofTechnology,H angzhou 310032, CHN) A bstrac t: The lappingmechanics and working characteristics ofultra-precision lapping are presented, thenmethods and develop- ments about some ultra-precision lapping technologies in China and foreign are discussed, in the end the detection apparatus used in precision working are also introduced. K ey w ord s: Lapping; Grains; U ltra-precision lapping; U ltra-precision detection 3 , , 8 31 EEM , (Elastic Em issionMachine, EEM) , , [7] TSUWA , , , EEM , , [ 8, 9] 32 , 8 , 1. 2. 3.