浅析MEMS喷嘴与ISO喷嘴的流出系数.pdfVIP

扬鹏：浅祈MEM．S喷嘴s ／SO喷嘴的漉出系数 浅析 MEMS喷嘴与 ISO喷嘴的流出系数 SimpleAnalyzingaboutDischargeCoefficientofMEMSNozzleandISONozzle 杨 鹏 (新疆维吾尔 自治区计量测试研究院，新疆 乌鲁木齐 830011) 摘 要：流出系数作为音速喷嘴的关键参数之一，是衡量其流量特性的重要指标。人们已对其主要开展了实验研究、理论研究和数值模拟等几个方面 的研究。MEMS喷嘴的引进与传统ISO喷嘴在流量特性有一定差异，对于它们之间相似和不同点，我们进行深入的学习。 关键词：流出系数；MEMS喷嘴；ISO喷嘴；实验系统 l 流出系数实验系统 对于不同的气源，流出系数的测量系统存在一些差 在对喷嘴流出系数的测量中选择湿式气体表为标准 异。当工作介质为大气中的空气时，由于真空泵的强大 表，工作介质分别为大气中的空气和压缩空气。 作用，使得喷嘴的背压比总低于0．1。当使用压缩空气 真空泵 作为工作介质时，喷嘴下游背压为大气压，当滞止压力为 2．5bar时，对于MEMS类型喷嘴，其背压比均高于 CBPR， 空气 即喷嘴此时不能实现临界流；当滞止压力在 6．5bar下 时，对于B组MEMS类型喷嘴的背压比也高于其 CBPR。 (a)I作介质为大气中的空气 为了研究不同滞止压力下，喷嘴流出系数的变化，当工作 介质为大气中的空气时，我们对大气压附近滞止压力为 压缩空气 0．85bar和0．70bar各个喷嘴的流出系数进行了测量。全 部实验结果如图2所示： (b)工作介质为压缩空气 图1 喷嘴流出系数测试系统 由于湿式气体表的人 口气体压力需要保持在 1个大 气压附近，因此对于不同的工作介质，实验系统存在一定 的差异。当工作介质为大气中的空气时，湿式气体表安 装在被检喷嘴的上游，下游使用真空泵使得喷嘴的背压 比均低于0．1以满足实验用所有喷嘴的CBPR要求；当 工作介质为压缩空气时，湿式气体表安装在喷嘴的下游， 由于通过喷嘴压力的降低使得达到湿式气体表时气体的 压力接近大气压，通过湿式气体表后的气体直接排向大 图2 喷嘴流出系数测量结果 气，因此，喷嘴背压固定在大气压。 从图2可以看出MEMS类型喷嘴的流出系数较 IS0 在对 MEMS喷嘴的CBPR和流出系数的测试过程 类型喷嘴要小，且随雷诺数的变化不明显。 中，考虑到喷嘴几何形状的非对称性，为考察喷嘴几何尺 2 ISO类型喷嘴 寸的影响，对 F和B两个不同安装方向下同一块MEMS ISO类型喷嘴流出系数与Red-1间关系如图3所 类型喷嘴的CBPR和流出系数均进行了测量。 示，为了对实验结果进行验证，我们选取 Wendt等与ISO 喷嘴流出系数的测量在 PTB气体流量室位于其地 9300的经验公式，将经验公式的计算结果与实验结果进 下室中心的精密气体实验室内进行，全部实验过程中温 行了比较，结果如图3所示。 度保持在 (20±1)oC问，在对每个滞止压力下喷嘴流出系 从图3中可以看出，实验结果与已有经验公式计算 数的测量过程中，实验内温度的变化不超过 0．2~C。每 结果间存在非