薄膜截面的TEM样品制备.pdfVIP

维普资讯 端 霸 (竺竺 方若 薄膜截面的TEM 样品制备 戴嘉维。孔 明 (I-海交通大学材料学院一Buehler公司联合实验室，上海 200030) 摘 要：针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题，以不锈钢基底上沉积的VN／ SiO。超晶格薄膜为例，介绍了薄膜截面TEM样品的制备方a--~过程。 关键词：薄膜；截面TEM样品制备；超晶格 中图分类号：TGll5．22 1．2 文献标识码 ：A 文章编号：1001—4012(2006)05—0239—03 CR0S SECTIONALTEM SAMPLEPREPARAT10N OFTHIN FILMS DAIJia-wei。KONGMing (JointLaboratoryofSchoolofMaterialsScienceandEngineeringofShanghai JiaotongUniversityandBuehlerLtd．，