微米和毫微米线量的激光干涉式测量.pdfVIP

④， ，毛 ，砂／泱良 维普资讯 8j 第12卷第4期 青 岛 大 学 学 报 VOL．12No．4 1997年 12月 JOURNALOFQINGDAOUNIVERSITY Dec．1997 微米和毫微米线量的激光干涉式测量。 MEASUREMENTOFLASER INTERFERENCE IN ASCALEOFMICR0N AND MILLIMICR0N 1H7蜉弓o7 史广安 刘 兵 ShiGuanganLiuBing 齐正强 刘建华 QiZhongqiangLiuJianhua (青岛大学) (Qin~aoU~verlity) 摘要 提出一种徽米和毫微米量级城量的激光干 Ab6tr~tA realtimemessufin8methodofl~ser~terfer· 涉式实时测量方法，分析了光路中应用直角双梭髓 ei~cein●．e．1e micronandnd21imicronI旦putfofwmrd． 的作用和电路中消除振动影响的方法，列出的实测 Theeffectof啦htangledoubleprismm．thewayoflight beam is_ⅡJzedand30 themethodofeliminatingthe 结果说明该方法是正确的。 influtn辞 ofvbr石皿 ．The硼 au e蛐l协Iistedinthe 关确两 激光干涉I光杠杆}直角双棱镜}加减计致 papershOW恤 themethod trl|e． 中国田书资料分粪法分粪号 0431 Key Wore~ I．．aserinterference，Displacementsauarc prisra 第一作者筲升：史广安，男．副教授，1964年毕业于山东师范大学物理系，现从事教学和擞光涓试与应用 研究。 1 导论 在迈克尔逊干涉仪的激光干涉实验中，当动平面镜发生一位移时．干涉条纹就要移 动，而位移dfkX／2利用这一原理，理论上可以测量檄位移量，其测量的分辨率理论上 1 ÷o．4tam，若应用干涉条纹的细分电路，则测量精度理论上可达毫微米量级。但这种方 ● 法不能实际用于微长度量的实时测量。因为在该高灵敏度和高精度的测量中，必须用灵敏 光杠杆将微线量转换成动镜转动的角位移。但由于动镜的转动，两相干光的光斑将移动， 甚至形成不了干涉光斑。而且，动镜的转动造成附加光程差，所测线量与条纹移动数将不 再具有线性关系。另外．测量对防震的要求极高。测试装置的任何微小振动，甚至测试人 员的脚步和说话都能引起干涉条纹的晃动，造成无法控制的误计数，通过光路的合理配 置，消除了动镜转动对光程差的影响，使所测线景与干涉条纹的移动数成线性相关；在电 _ 收瞢 日期：lgg6—12—1e 一 83 — }lj 维普资讯