涡旋无油真空泵设计理论及加工工艺的的研究.pdf

摘要 涡旋无油真空泵设计理论及加工工艺的研究 摘要 半导体工业的发展迫切要求提供清洁无油的真空环境，涡旋真空泵以其清洁度 高、结构简单、体积小、噪音低等优点，在无油真空获得方面独受青睐。在欧美 和日本等发达国家，涡旋无油真空泵在很多领域已经越来越多的代替了油封式机 械泵。但由于我国使用的涡旋泵主要依靠进口，价格昂贵，所以应用并不是很多。 本文旨在使涡旋无油真空泵在中国实现产业化，为新兴工业的发展提供清洁的真 空环境。 在涡旋泵的设计方面，本文首先建立了实用有效的涡旋真空泵理论抽速数学模 型．推导出其设计公式，给出了基本几何参数的选择方法，开发了绘制涡旋型线 的通用CAD程序。 本文讨论了影响涡旋真空泵加工精度的主要因素，并在此基础上选择数控加工 Maticl8立式加工中心上加工出 方法，利用自主编制的加工程序，在美国产Bosto 符合精度要求的涡旋盘。 为了改善涡旋盘的表面性能，研究了对铝合金涡旋盘进行硬质氧化和