复合抛光对CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究.pdfVIP

维普资讯 第 21卷 第 2期 无 机 材 料 学 报 Vo1．21，No．2 2006年 3月 JournalofInorganicM aterials Mar．，2006 文章编号：1000—324X(2006)02—0499—04 复合抛光对 CVD金刚石薄膜表面光洁度的改进研究 苏青峰，夏义本，王林军，史伟 民 (上海大学材料科学与工程学院电子信息材料 系，上海 200072) 摘 要： 采用激光抛光和热化学抛光相结合的方法，对通过热丝 CVD方法生长的金刚石薄膜 进行了复合抛光处理．并利用 x射线衍射仪 (XRD)、拉曼光谱仪 (Raman)、扫描电子显微镜 (SEM)和原子力显微镜 (AFM)对金刚石薄膜进行了表征．结果表明，所合成的金刚石薄膜是 高质量的多晶 (111)取向膜；经复合抛光后，金刚石薄膜的结构没有因抛光而发生改变，金刚 石薄膜的表面粗糙度明显降低，光洁度大幅度提高，表面粗糙度 R 在