微机电系统纳米摩擦学研究进展.pdfVIP

合 成 润 滑 材 料 2003年第30卷第 1期 S 哪【 !CLUBlUC NTS 33 微机电系统纳米摩擦学研究进展 王庆 良 王爱军 葛世荣 刘金龙 (中国矿业大学机电工程学院，江苏 徐州221OO8) 摘要：随着微型机电系统 (MEMS)的快速发展，MEMS摩擦学已成为纳米摩擦学研究中最活跃的前 沿领域之一。微观尺寸上的摩擦磨损和润滑对整个MEMS系统的性能、稳定性和寿命起着决定作用，因此 研究MEMS的微观摩擦学性能至关重要。综述了近年来国内外MEMS摩擦学研究的新进展，介绍了MEMS 系统的纳米摩擦学特性，包括环境条件、材料处理、表面改性、分子薄膜润滑等在解决MEMS摩擦和润滑 问题上的研究状况，提 出了当前相关研究的几个重要 问题。 关键词：微型机电系统；纳米摩擦学；固体薄膜；超薄膜润滑 中图分类号：TH117．1 文献标识码 ：A 随着微电子技术渗透到机械工程的各个领域 善、运行稳定、适应多变环境的MEMS产品提供 和机 电一体化的发展，极大地促进了机械向微小 了重要的技术支持。 型化方向快速发展。20世纪80年代中后期兴起 的微型机 电系统 (MicroclcctmmcchanicalSystem， 1 MEMS纳米摩擦磨损特性 简称MEMS)，是基于现代科学技术，并作为微／ 微机械构件接触时的机械作用力很小，几乎 纳米科学技术的重要组成部分的一项崭新的科技 不对机械性能产生作用和影响。摩擦将取决于表 领域，它将微型机构、微驱动器、微电源、微传 面问的分子作用力，即分子的吸引力加剧表面的 感器和控制电路等集于一体，具有体积小、能耗 贴合，启动应力是传统机械接触应力的3倍 ～4 低、集成度和智能化高等系列优点，在生物、医 倍，表面力和表面粘着能是产生粘着和变形的主 学、环境控制、航空航天、数字通信、传感技术 要原因 j。因此控制 MEMS系统表面特性是改善 等现代技术领域展现了巨大的发展潜力。 摩擦、降低磨损、提高运行稳定性的有效途径。 超精密制造的微型机电系统，由于尺寸小， 近十年来，国内外学者针对 MEMS系统的摩擦学 摩擦副的间隙常处于纳米级甚至零间隙，在运动 问题 ，开展了相对广泛的研究和探索。研究工作 过程中受尺寸效应的影响，表面粘着力、摩擦力 主要集中在MEMS系统微接触表面间的摩擦、磨 及表面张力等相对于传统机械而言，表现得非常 损及粘着行为，纳米尺度上的表面改性和分子超 突出，成为影响MEMS性能、稳定性和使用寿命 薄膜润滑，利用原子力显微镜 (AFM)、摩擦力 的关键因素uJ。在这种条件下，宏观摩擦学的理 显微镜 (FFM)等探讨 MEMS摩擦磨损、固体表 论已不适用，必须研究以界面上分子原子为分析 面接触和边界润滑的机理等。 对象的纳米摩擦学特性。近年来，MEMS纳米摩 擦学领域所获得的研究成果，不仅丰富和促进了 收稿 日期：2oo2—12—17 作者简介：王庆良，讲师，在读博士，从事材料与相关摩 纳米摩擦学的基础研究，而且为设计开发性能完 擦学的研究。 合 成 润 滑 材 料 T卸田K LUBRlCANTS 2003年第 30卷 Bhushan及其合作者 对MEMS主要制备 段。曲建俊 ¨4综合论述了超声马达摩擦学和摩擦