大功率激光强度分布测量系统.pdfVIP

电 子 测 量 技 术 11 大功率激光强度分布 测量 系统 7／一f 啦 左铁钏 艨 工业大学 摘 要 文中针对激光加工大功率激光光束光斑功率密度分布测量的要求 ，设计 了测量系统 ，实现了对大功率光 柬光斑 的检攫I。 关键词 大功率激光 功率密度分布 测■ 系统 - — — — — — — 一 M easuringSystem forH igh Power LaserTransverseIntensityDistribution LiQiang LeiHong ZuoTiechuan Abstract Accordingtotherequirementofmeasuringenergytransverselittel~sitydistribution。fhighpowerlaserbeams／ 一叠 focusforlaserprocessJng．anew measuringsystem isdesigned．Themeasuringofhighpowerlaserbeamsbythissystem Ls realized Key~ords h1ghpoworlaser trarmverseintertsitydistribution me~uringsystem 球 ，设计 了采用空心探针方法对激光光束 、光斑 的光信号 1 引言 进行检袒『的系统 ，实现 了对大功率激光光束光斑 的攫I量 。 用于激光加工 的大功率激光光束是指功率在 几百瓦 2 测量 的原理 到上万瓦．光斑 的功率密度高达 lOw ／cm2的激光光束 由于激光功率 、光束的模结构与聚焦光斑形态等参数对 对大功率激光光束 、聚焦 光斑在线 攫I量 的有效手段 加工质量都起着决定性 的作用 ，要求对激光加工过程 中 是采用空心探针的方法 。其 工作 原理如图 1，以固定 大功率激光束的传糍与聚焦质量进行监测。 “获得 大功 在平动台上的高速旋转空心操针高速扫过光束横截 面． 率激光光束的尺寸、模结构、柬腰位置 、焦点大小 、聚焦光 部分光束通过探针传到探测器 ，对光束 、光斑进行扫描 ， 斑形态 、强度截面分布等测量参数 ，为激光加工质量的提 测得扫描线的强度分布 ，同时，使平动台垂直 于光束方向 高提供最基本的数据。且为制造大功率的激光器及聚光 平动 ．攫I得多条扫描线 的强度分布 ，如 图2，经平滑 、计算 镜 、反射镜等光学元件提供基本 的检测数据 。 处理 ，得蓟整个光斑的功率密度分布 实现这一测量过 本文根据激光加工用大功率激光光束诊断系统的要 程 ，重要 的是在短时间内完成对激光信号的采集 ，以便根 据所得数据获得光束 、光斑 的分布 。 瀚光 撂删持 a：瑚 卅n 瞧、I习警 一 图 1 空心探针扫描采样测量法原理 图 图2 攫I得强度分布扫描线示意图 t 国防科工委重点予研支助项 目 大功率激光强度分布测量系统