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第l翰}第 5期 压 电 与 声 光 Voli2No．5
1890年lO月 PIEZOELECTRICS ＆ ACOUSTOOPTIC5 Oct．1990
声 表 面 波 加 速 度 计
SAW Accelerometer
周 绍 明
(四川压 电与声光技术研究所 )
悬臂粱声表面波加 速 度 计 是 一 种 高 分 辨率 (10一一 1O—m／s~)， 高灵敏度
(10kHz／m／*s~251MHz)及高稳定性 (频率稳定度lO。)的加速度计。它具有成
本低、重 复性好、结构简单、 易集成等特 点。
SAW cantileverbeam aecelerometerisakindofacceleIometerwilhhigh reso
lutloa (1o。一‘10一m／s*)．highsensitivity (greaterthan10kHz／m／s。at251MHz)
andgood stability (1o。。) Ithaslheadvantagesof low cost， good re~ealability，
．
simplestrtlC~ureandeasy ￡0rJillegratlon etc．．
臂上制作一对SAW延迟线或谐振器 与 线性
一 、 前 曹
放大器构成双振荡器 。SAW延迟线或谐振器
声表面渡 (SAW)加逮度计是以SAW 在放大器的反馈 回路中，当臂受到惯性力作
器件为基础构成的一种加速度传感器。它是 用发生形变时，SAW 的传播速度发生变化，
利用外应力对基片的影响，其敏感元件是包 从而导致振荡器频率的变化。由于两振荡器
含在放大器反馈 回路中的SAW延迟线或谐 在加速度场 中位置的差异，因而对加速度的
振器组成。这种加速度计是近几年才研究出 敏感程度也稍有不同，两振荡器的输出经混
来的，尚处于实验室的阶段，主要的性能 目 频后输出差频，加速度的大小与输出差频成
标是为了惯性导航和制导系统的应用。 正 比
二、基本原理 三、基本结构
SAW加速度计是在单旋或双 旋石英梁 在SAW加速度传感器中，敏感元件是由
(5] UKP．GB2，021．256A (1979) p．18
[8) ．kW andST，1982口‘．84 ． (9] 吕志清 ：·压电与声光，1984tB (5)
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1982,p．231 (10) Ralph．R．Ragan：IEEE Trans．AES，
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ceedlngofIEEE／AIAA 5titDigital C11] 任思聪 王博： 《导航 ，1985-(4)p．99
AvionicsS}rstems co~．feteuee．188~t (12] 太月正男：七’／廿技术。1986t(4)P．盯
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