结构解耦的双质量微陀螺仪结构方案设计和仿真.pdfVIP

第38卷第5期 东南大学学报(自然科学版) V01．38No．5 2008年9月 JOURNALOFSOUTHEAST Science UNIVERSITY(NaturalEdition) Sept．2008 结构解耦的双质量微陀螺仪结构方案设计与仿真 殷 勇 王寿荣 王存超 盛 平 (东南大学仪器科学与工程学院，南京210096) 摘要：为了解决双线振动双质量微机械陀螺驱动和检测模态耦合的问题，提出了一种新的双质 量双线振动式微机械陀螺仪结构方案，并对驱动和检测梳齿的电容布置以及梁的结构形式进行 了设计．根据微陀螺的结构和工作原理，对该陀螺的驱动和检测模态进行了理论分析，给出了简 化的动力学方程，并利用ANSYS有限元分析软件进行了数值仿真，以验证设计思想的正确性． 仿真结果表明，双质量块和折叠梁的设计使该微陀螺能够实现驱动和检测模态的完全解耦．在仿 真验证的基础上，通过调节结构参数实现了陀螺驱动模态与敏感模态固有频率的匹配及其与干