钛铝系金属间化合物薄膜的制备和摩擦性能.pdfVIP

32 5 机 械 工 程 材 料 Vol. 32 No. 5 2008 5 M aterials for M echanical En ineerin May 2008 , , , , ( 江苏大学材料科学与工程学院, 江苏镇江212013) : 应用射频磁控溅射方法沉积钛铝系金属间化合 薄膜; 用X 射线衍射仪( XRD) 配有 能谱仪( EDS) 的扫描电子显微镜( SEM) 和U MT2 型摩擦试验机对薄膜的相组成形貌和摩擦性 能进行了分析结果表明: 该薄膜是由T iA lT iAl3 Al2 O3 和TiO2 相组成; 薄膜表面晶粒均匀细 小; 对于不同钛铝含量的薄膜, 当铝含量( 原子分数) 为45% 时具有最低的摩擦因数; 摩擦因数随 着载荷转速和摩擦时间的增加而减小 : 射频磁控溅射; 钛铝系金属间化合 ; 薄膜; 摩擦性能 : T B331 : A : 2008) 0500620