TiNTiC和TiCN涂层的性能及影响因素研究.pdfVIP

TiN，TiC 和Ti（C，N ）涂层的性能及影响因素研究 唐达培，高 庆，江晓禹 （西南交通大学应用力学与工程系，四川 成都 610031 ） 要］ TiN 和TiC 同属于NaCl 形式的晶体结构，是同构互溶性的。Ti （C ，N ）是两者的固溶 ［摘 体。TiN 和TiC 及Ti（C ，N ）涂层具有优良的力学和摩擦学性能，作为硬质耐磨涂层，已用于切削刀 具、钻头和模具等场合，具有广泛的应用前景。综述了国内外关于这3 种涂层的研究成果。研究了影 响其性能的若干因素，比较了它们的性能差异，为进一步优化涂层的性能及合理地选用涂层提供了参 考。进一步的研究方向是高、低温及恶劣环境下涂层的性能以及更大载荷下涂层的摩擦学性能等。 一些重要结果如下：（1 ）对TiN 涂层而言，用CAPD 比用CAIP 制备时，涂层的摩擦因数小、结合强度 大、硬度小；脉冲电压从550 V 增大到750 V 时，涂层脆性增加、结合强度减小；在多弧离子镀工艺中， 500 C 是最佳沉积温度，此时涂层的硬度和结合强度均最大。（2 ）对用反应磁控溅射制备的TiC 涂层 而言，用C2 H2 比用CH4 制备时，涂层的硬度大；CH4 分压在0. 02 ~ 0. 04 Pa 范围内为最佳，此时TiC 涂层的硬度和弹性模量最大，分别是30. 9 GPa 和343. 0 GPa 。（3 ）对Ti （C ，N ）涂层而言，随CH4 ：N2 或C H ：N 流量比的增大，其硬度增大；CH ：N 分压比对摩擦因数和磨损量的影响还与载荷的大小 2 2 2 4 2 TiC N 涂层的硬度和弹性模量随! 值而变化，当! 为0. 6 左右时，硬度取最大值45 GPa ，当! 有关； X 1 - X 值为0. 43 左右时，弹性模量取最大值630 GPa 。 ［关键词］ 涂层；TiN ；TiC ；Ti（C ，N ）；性能；影响因素；硬度；摩擦因数 03 - 0042 - 05 TG174 ［文献标识码］A ［文章编号］1001 - 1560（2005 ） ［中图分类号］ o 引 言 成分在20 世纪80 年代已开始研究［9 ，10］。迄今为 止，对于TiN ，TiC 及Ti（C ，N ）涂层的性能进行了大 TiN 涂层具有硬度高、韧性好、结合强度高、摩 量研究，发现涂层的组分、厚度及工艺条件（如沉 擦因数小和化学性能稳定等优点，作为涂层用于加 积温度、速度、压力等）对涂层性能有较大的影响， 工刀具大大提高了其使用寿命和被加工产品的质 ［1，2 ］ 涂层的使用工况（如温度、速度、气氛、载荷等）对 量 。但是，随着机械制造业要求的提高，切削 涂层摩擦磨损等性能有较大的影响。本工作对3 刀具存在高温抗氧化性不足，硬度不够高等缺点。 在各种新的涂层材料中，TiC 涂层具有较好的综合 种涂层的性能研究进行了评述，重点研究影响其性 性能，并且硬度比 TiN 更高，已成为主要选择之 能的各种因素，同时比较了3 种涂层性能的差异， 一［3 ］。20 世纪 90 年代通过多组元涂层、多层涂 为涂层的合理选用和设计提供了依据，最后提出了 层［4 ~ 6 ］、复合涂层提高了TiN 涂层工模具的性能， 进一步的研究方向。 取得了相当大的进展。TiN ，TiC 同属于NaCl 形式