溶胶凝胶法制备二氧化锡薄膜.pdfVIP

硅酸盐通报 年第 期 专题论文 $ $ 溶胶 凝胶法制备二氧化锡薄膜 ! 潘庆谊 张剑平 董晓雯 程知萱 施利毅 （上海大学理学院化学系，上海 !#! ） 摘 要 以无机物（ · ）为前驱物采用溶胶 凝胶技术、浸渍涂布法制备二氧化锡薄膜。 $%’ )* + , ( ! 研究了凝胶的脱水与晶化过程，得到经-. 热处理后凝胶晶化完整。同时对不同粘度的涂布液与成膜 厚度以及不同提拉速度与成膜厚度的关系进行研究，得到较好的直线关系。膜厚与提拉速度的关系式 为 ! ! /)0 。 关键词 溶胶凝胶法 二氧化锡 薄膜 厚度 ［］ ( 恒温静置获得凝胶 。 1 引言 # 二氧化锡薄膜的制备 以倾滤法将上述所得凝胶洗净，离心分离，加 二氧化锡（ ）薄膜具有高导电率、高透明 入不同量的成膜助剂:2 及去离子水，用超声波 $%+! 度、化学性能稳定等独特的优点，广泛应用于光电 振荡器充分分散，使之形成成膜凝胶涂布液。 用载玻片（ ）为基板，在涂布液 材料、太阳能电池、气体传感器等方面。可做透明 -55 ; !55 ［，］ 电极、带电防护膜、微波反射膜等 1 ! 。二氧化锡 中浸渍，以不同速度提拉，载玻片上即得二氧化锡 薄膜的性能依赖于制备方法。采用喷涂、 、电 的凝胶膜。烘干后，以不同热处理温度烧成二氧 23 蒸发、溅射等方法制备二氧化锡薄膜等工作已有 化锡薄膜。以称重法计算膜厚，并用$= 进行核 ［］ 不少报道4 ，它们各有优点，但均需昂贵的设备。 对。 采用溶胶 凝胶技术制备二氧化锡薄膜，既具有低 #% 表征及成膜因素研究 , 温操作的优点，又可严格控制掺杂量的准确性，而 以国产 型热分析仪对干凝胶（ ） 7,! ?@A,BC’ 且还克服了其它方法在制备较大面积薄膜时的困 进行D,3E 分析，以FG H1#!) 型红外分光光 ［］ ! 度计对干凝胶及不同温度热处理所得样品进行分 难，因此该法方法简单，易于实施 。 本研究以无机物四氯化锡（ · ）为前 析，以 型 进行物相分析。用国 $%’ )* + 3G 5IJ K H LH3 ( ! 驱原料，加入少量溶胶作助剂，采用溶胶,凝胶技 产3L K ) 型扫描电镜对膜厚与膜质量进行研究， 术制备纳米级二氧化锡凝胶。再加入粘合剂，以 对膜