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磁控直流辉光等离子体放电特性 万树德，汪海 (中国科学技术大学近代物理系，安徽合肥，230026) 摘要：作者利用独立研制的实验教学用磁控直流辉光等离子体装置1，为我校理学院二年级 学生开设研究性实验课。实验装置具备真空放电室、真空获得及测量、磁场条件、诊断系统 等完备的实验条件，实验内容可由学生根据调研自行确定，根据实验结果卷写小论文。作者 从几十篇实验报告中将有关磁控直流辉光等离子体放电特性的实验结果加以归纳总结形成 本文。 关键词：磁场约束直流辉光等离子体特性 利用自制实验教学用的磁摔直流辉光等离子体实验装置，如图l所示1，为我校理学 院二年级学生开设研究性的实验课。旨在培养学生从事科学实验研究的动手能力。我们采取 在学生初步掌握该实验装置放电方法后，由学生自己调研确定研究课题，这样每组同学的实 验研究内容都不相同，基本上集中在下列几方面：1、最佳的放电条件探索，内容包括：探 索起辉电压与气体压强之间的关系；中心截面径向不同位置电子密度随气体压强之间的关 系。2、直流辉光等离子体放电特性，内容包括：等离子体参数与气体压强的关系；在不同 的压强下放电电子密度的空间分布；3、磁场对等离子体约束效果研究，内容包括：磁场对 等离子体空间分布的影响一不同位置电子密度与约束磁场强度之间的关系。 实验装置： 实验装置如图1所示，有一个半径R=15cm球形玻璃 泡制成的真空放电室，在真空室内相对安装两只半径为 2．5cm的圆形平板电极，在装置两端放置两只磁场线圈， 一台抽速为2L／s的机械泵为系统真窄抽气，极限真窄度 为0．6pa，通过针阀充入Ar气，压强在0．6-300pa之间可 调，静电探针诊断测量系统布置在垂直的中心截面上，并 可径向移动。 两只磁场线圈串联 [11实验装置示意图 连接，由同一个电源供电。通过改变相互之间的接线方式 来改变磁场位形。如果线圈供电电流由两只线圈同名端入， 巡么 磁场位形如图2a所示，通过改变流经线圈电流的大小中心 ◇匪 磁场强度可在O-lkGz之间可调；如果电流由两只线圈异名 ∥N一 端入，磁场位形如图2b所示。 实验内容： 1．探索系统最佳的放电条件： 为了确定运行控制参数范围，做了以下两个实验：Ar气起辉实验：在不同气体压强下， 改变放电压直至起辉放电，并记录最低的起辉电压，因此可以得到该装置起辉电压随气体压 强变化关系，以便得到获取等离子体最佳气体压强条件：在不同位置测量电子密度与气体压 强之间的关系：在稳定放电的情况下，固定放电电压，给静电探针加50V电压，调节气体 压强直至放电终止。在不同气压下记录静电探针电流，该电流为电子饱和流，它的大小代表 了电子密度的大小，从而得到电子密度(电子饱和流)与气体压强的关系； 2．电子密度的径向分布： 稳定放电情况下，在各种不同的气体压强条件下，用静电探针在不同径向位置测量电子 316 饱和流，从而得到电子密度(电子饱和流)的径向分布。 3．电子密度随约束磁场强度的改变： 磁场线圈电流由同名端接入，改变线圈电流的大小，用静电探针在不同的径向位置测量 电子饱和流，从而得到电子密度(电子饱和流)随约束磁场强度的变化。 磁场线圈电流由异名端接入，改变线圈电流的大小，用静电探针在不同的径向位置测量 电子饱和流，从而得到电子密度(电子饱和流)随约束磁场强度的变化。 实验结果 图3为起辉电压与气体压强之间 的关系，压强为lOpa时起辉电压为 330V，气压较低时，起辉电压比较高， 启辉电压≥ 随着气压的上升，起辉电压逐渐下降， 当气压上升到34pa起辉电压降至不到 100 V为最低，随后起辉电压又随着气 压的上升而升高； 图4在不同空间位置电子密度与 气体压强之间的关系，在气体压强较 低时，电子密度较低，随着气压的