CVD金刚石核探测材料与器件.pdfVIP

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CVD金刚石核探测材料与器件.pdf

第 卷增刊 原 子 能 科 学 技 术 ! ! #$%!’( % ! ! ! ! ! ! )) 年 月 *++, - ./$0123456 ;524$%$ =(% *++, 78 78 8 !#金刚石核探测材料与器件 夏义本!王林军!张明龙!苏青峰 上海大学 材料科学与工程学院!上海 # *+++-* ! 摘要!金刚石膜因其优异的电学(光学等性能已成为优越的辐射探测器材料!但探测器性能强烈地依赖 于薄膜质量)本工作利用热丝化学气相沉积 #法获得了 #取向不同质量的金刚石薄膜!并 BCD#E ?++ 制备了 金刚石辐射探测器)应用 ,, 射线测试了探测器的光电流响应和脉冲高度分 D#E ,F5# C5G 布) * 外电场作用下晶粒为 的 金刚石探测器的暗电流和光电流分别为 和 ,+F# 20 ?+ 0 D#E ?A! ! ?AH4.)光电流随辐照时间延长而增大!尔后趋于稳定)脉冲高度峰与噪声明显分离)探测器具有较 高的计数效率和信噪比) 关键词! 金刚石$辐射探测器$光电流$脉冲高度分布 D#E 中图分类号! $ 文献标识码! 文章编号! # ;IH?@;IH?A? . ?+++A!?*++,’+++A!+@ ! ! ! ! ! ! !# #$%’()*’+,-./0%+#010.1$’(2%10+$%/3%()#04$.03 ! ! ! GJ. K1L54 M.NO I14(4 QB.NO R14 %$4 ’S T14 U54 P 7 7 7 7 ! ! ! # !#$$%$ ’()*+,(%-!,*.*(./0. ,.**+,. !#(. #(,2.,3*+-,) !#(. #(,*+++-* 5#,.( 1 1 1 4 1 + 5631+%.1 E190$4:1V9W56 9//692/1W509/5619%/$659%1X569:19/1$4:5/52/$6V:(5/$1/V 8 !

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