光学薄膜厚度网络监控系统的研究.pdfVIP

光学薄膜厚度网络监控系统研究 帅福利 黄光周 黎永志 于继荣 (华南理工大学 电子与信息学院 广东 广州 510640) 摘要：本论文以光电极值法为基本理论，以现代网络传输技术为基础，实现了光学薄膜厚度网络监控系统。论文中 主要描述了光电极值法的基本原理和网络监控系统的技术基础，并给出了详细实现方案及部署模型，最后通过实验 验证了网络监控系统。 关键词：网络监控 光学薄膜 TCP/IP XML optical thin film thickness network monitor system Shuai Fu-li Huang Guang-zhou Li Yong-zhi Yu Ji-rong (school of Electronic and Imformation Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, China) abstract: optical thin film thickness network monitor system is realized by the basic theory of photoelectricity extremum method and the foundation of modem network transmission technology. In this paper, the basic theory of photoelectricity extremum method and the foundation of modem network transmission technology is introduced. Then the detailed scheme and deploy model is discussed. In the end, network monitor system is validated by experiment. Key word: network monitor optical thin film TCP/IP XML 1 引言 随着科学技术的飞速发展，光学薄膜器件得到了越来越广泛的应用，从人造卫星到现在的光纤 通信，其中都有起着重要作用的光学薄膜器件。同时，随着用户要求的提高，对光学薄膜制作精度 的要求也越来越高。而光学薄膜的制作是一个涉及到许多学科的复杂过程，受到不同材料、不同工 [1] 艺以及一些突发因素的影响。因此监控光学薄膜厚度是制作光学薄膜器件的关键之一 。随着计算 机技术、通信技术和控制技术的发展，传统的工业监控领域正经历着一场前所未有的变革，开始向 [2] 。因此将光学薄膜厚度监控网络化的研究是一 网络化方向发展，给工业监控带来了新的发展机遇 项有意义的工作。 2 薄膜厚度监控原理 光学薄膜厚度网络监控系统采用光电极值法，是利用膜层沉积过程中反射率(或透射率) 随薄膜 厚变化的规律，通过检测淀积过程中反射率(或透射率) 出现的极值点来监控薄膜的厚度。 如图 2-1 所示，在折射率为 n 的基片上镀制上一层折射率为 n ，厚度为 d 的薄膜，入射光 I， 2 1 从折射率为n0 的介质入射，出射光为O 图2-1 干涉极值法监控原理图 Fig. 2-1 the monitor schematic o